扩散泵返油.doc

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所以说您的扩散泵工作时候上半部分不热是属于正常现象,请放心使用
也有可能是功率太大或者加的油过量,都可能导致返油。
什么型号的泵啊,哪个单位产的,和生产商问一下电炉丝功率和加油量,要不买一根新的,安上试试,如果还返油给我留言。
日本新科隆的泵。一直在用都还可以,最近才出现的问题。加热丝也确认过没有问题,油量也是一直在用没有加过,应该不是油量问题。我还是认为冷却不好。还有其它可能吗?
你吧,用高压气分别从进水口和出水口充气,确认一下是否有堵塞的现象,也能清理一下水路的杂物什么的,如果是水路脏的话,以后还是准备一台循环水,用好一点的水,冷却就基本上不会出问题了。
感谢你的关注。
冷却水管道我已经清洁过了的。
我想会不会是油劣化掉了呢?
不客气,一般来讲跟油氧化没多大关系,油如果氧化了会导致高真空上不去,应该不会造成返油。
你换油试试,也没准出现这样少见的情况。
我们是两个扩散泵。因为之前扩散1主阀上有油,所以我一直怀疑是扩散1的问题,前天有把喷油塔和主阀清洁过,还是没有改善。今天把扩散1的油换了,的确油色比扩散2的油色要黄得多。顺便我也把扩散2的主阀打开来清洁一下,结果发现扩散2主阀上有明显的油印。我想应该是扩散2在反油,今天给扩散2多加了一组水冷。晚上试一下,明天看结果。
你是专搞真空镀膜设备的还是其它都有在搞?
你初步认为是扩散泵返油造成,那扩散泵的护网上肯定是油湖湖的,这是定返油的必定的条件!
这个问题应该如果解决?第一,最简单易行的清理是用30%.
第二,较麻烦是对扩散泵进行一级保养,拆洗扩散泵,并清理扩散泵冷却管路,扩散泵一级保养,一般是一年一次.
第三,是把扩散泵前的护网换成冷凝网,对提高真空度有好处,但较麻烦,不推荐用此法.
扩散泵返油特征比较明显,容易判断:
一是观察该黑点特征,一般为圆形,大小不一,基本在产品正面,擦拭即掉;
二是观察该黑点分布特征,一般在高阀进气口附近同一高度分布,如果产品离出口比较远时也可能会广些,背面基本不会有;
三是出现返油时,产品出炉时应该能闻到或轻或重的油焦味。
建议两点:
一是检查扩散泵前级压力,在抽气时是否过高(不应高于10帕),如偏高须检查前级机组性能;
二是检查扩散泵泵体温度,在中部及以上应当是凉的,如果暖甚至热时,需要检查冷却水的效果,下调温控系统温度或增加温控系统。
如果真空规管没有损坏,返油一般是不需要修理的,主要清洗真空室内扩散泵的油。最好使用汽油把真空室壁全部擦一遍再用酒精擦一遍。油一定要清干净是最关键的,如果室内还有油的存在,就会出现镀白膜,膜层质量很不好,等现象,并不是因为电镀机坏,而是因为真空室有油。盅埠夸五术电匆脱氛弘眼唾劣饲晨颓涯哥滩黎饵还憎葛桑垫保睦纤疡绷衫朵凿肌玄断神轿艘