扩散泵返油扩散泵冷却水水温偏高,易导致油蒸汽进入镀膜室附着在原片上,这是导致脱膜的生要因素之一。定期观察扩散泵冷却水水温,做好记录,尤其在炎热的夏季和使用较高溅射功率的时候,更应如此。扩散泵的工作原理:它的原理是将扩散泵油加热至沸腾,气化的油雾通过喷油嘴向四周喷射,扩散泵的四周有冷却水管或者水套,将喷射的油雾冷却液化流下至泵的底部循环。如果上半部分热的话说明冷却不好,会向真空室返油,那就是不正常的现象了,说明冷却不好,原因可能是水压不够或者水管内有阻塞。所以说您的扩散泵工作时候上半部分不热是属于正常现象,请放心使用也有可能是功率太大或者加的油过量,都可能导致返油。什么型号的泵啊,哪个单位产的,和生产商问一下电炉丝功率和加油量,要不买一根新的,安上试试,如果还返油给我留言。日本新科隆的泵。一直在用都还可以,最近才出现的问题。加热丝也确认过没有问题,油量也是一直在用没有加过,应该不是油量问题。我还是认为冷却不好。还有其它可能吗?你吧,用高压气分别从进水口和出水口充气,确认一下是否有堵塞的现象,也能清理一下水路的杂物什么的,如果是水路脏的话,以后还是准备一台循环水,用好一点的水,冷却就基本上不会出问题了。感谢你的关注。冷却水管道我已经清洁过了的。我想会不会是油劣化掉了呢?不客气,一般来讲跟油氧化没多大关系,油如果氧化了会导致高真空上不去,应该不会造成返油。你换油试试,也没准出现这样少见的情况。我们是两个扩散泵。因为之前扩散1主阀上有油,所以我一直怀疑是扩散1的问题,前天有把喷油塔和主阀清洁过,还是没有改善。今天把扩散1的油换了,的确油色比扩散2的油色要黄得多。顺便我也把扩散2的主阀打开来清洁一下,结果发现扩散2主阀上有明显的油印。我想应该是扩散2在反油,今天给扩散2多加了一组水冷。晚上试一下,明天看结果。你是专搞真空镀膜设备的还是其它都有在搞?你初步认为是扩散泵返油造成,那扩散泵的护网上肯定是油湖湖的,这是定返油的必定的条件!这个问题应该如果解决?第一,最简单易行的清理是用30%,较麻烦是对扩散泵进行一级保养,拆洗扩散泵,并清理扩散泵冷却管路,扩散泵一级保养,,是把
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