X射线光电子能谱分析X-rayPhotoelectronSpectroscopy表面分析技术(SurfaceAnalysis)是对材料外层(theOuter-MostLayersofMaterials(<100nm))的研究的技术X-rayBeamX-rationdepth~-rayexcitationarea~。,他被授予1981年诺贝尔物理学奖。XPS现象基于爱因斯坦于1905年揭示的光电效应,爱因斯坦由于这方面的工作被授予1921年诺贝尔物理学奖;X射线是由德国物理学家伦琴(WilhelmConradRöntgen,l845-1923)于1895年发现的,他由此获得了1901年首届诺贝尔物理学奖。X射线光电子能谱(XPS,全称为X-rayPhotoelectronSpectroscopy)是一种基于光电效应的电子能谱,它是利用X射线光子激发出物质表面原子的内层电子,通过对这些电子进行能量分析而获得的一种能谱。这种能谱最初是被用来进行化学分析,因此它还有一个名称,即化学分析电子能谱(ESCA,全称为ElectronSpectroscopyforChemicalAnalysis)X射线物理X射线起源于轫致辐射,可被认为是光电效应的逆过程,既:电子损失动能产生光子(X射线)快电子原子核慢电子EK1EK2h光子因为原子的质量至少是电子质量的2000倍,我们可以把反冲原子的能量忽略不计。(hν)同样品相互作用时,光子把它的全部能量转移给原子、分子或固体的某一束缚电子,使之电离。:光致电离;A+hA+*+eh紫外(真空)光电子能谱hX射线光电子能谱hAuger电子能谱单色X射线也可激发多种核内电子或不同能级上的电子,产生由一系列峰组成的电子能谱图,每个峰对应于一个原子能级(s、p、d、f);
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