氦质谱检漏仪使用说明.doc

葿膇蚁氦质谱检漏仪使用说明书蒄袃腿资产编号:型号:ZQJ-542袀罿蒈一、设备组成及工作原理薇羃肄1、设备组成框图芁莇莁氦质谱检漏仪芆肃膁加压罐蚂聿薆双级旋片真空泵肈节羈电阻真空计薁羁袂氦气瓶羂蒈肇重氟油粗检装置莃膀蚂检漏盒蕿薈膅检漏托盘羀莀莃氦气喷抢羅肆羈2、设备工作原理莁螈薈检漏仪内部组成:氦质谱检漏仪主要由分子泵、质谱室、组合阀体,机械泵以及控制电路板等组成。羈肅蒅检漏仪的工作原理:氦质谱检漏仪是根据质谱仪学原理,用氦气作为搜索气体制成的气密性检测仪器。螂蒀肃ZQJ-542检漏仪采用180度磁偏转质谱室,钨制灯丝发射出来的电子经过加速进入离化室,在离化室内与残余气体分子和经被检件漏孔进入离化室的氦气互相碰撞使其电离成正离子,这些离子在加速电场作用下进入磁场,由于洛伦兹力作用产生偏转,由于不同质量数(m/e)的离子其偏转半径不同,这样就将不同的离子分离开了。由于磁场参数是固定的,只有调节加速压力就可以改变氦离子的偏转半径,使氦离子正好通过隔离板上的窄缝打到放大器入口,这样就使氦离子(m/e=4)与其他离子分开了。氦离子流正比于容器中氦分压。因此,对氦离子的测量可以用来确定被检件的漏率。螇膅罿二、设备工作外部条件膃羈蚆氦质谱检漏仪电源电压220V频率50HZ额定功率2000W。仪器应安装在符合仪器使用的环境要求的场所,特别是仪器的电源插座,应符合要求,要有良好的地线,左右要留有30CM的通风间距。薆芅袅放置好检漏仪,以避免仪器有倾斜或倾倒的危险。芀蚀袄检漏仪的底部有安装孔,可以将其固定在桌子或支架上。芅莅肁在仪器运行前要确保真空泵中的机械泵油是否足够,机械泵油必须用专用的针对机械泵型号的油。蚁膇肈三、设备工作外部条件接通操作莈蒅芄氦质谱检漏仪肂衿薄图1肆薅袈检漏仪的机械泵有足够的机械泵油;保证机体内分子泵、机械泵、真高空组件各连接顺畅;电源线线路没有破损,有良好的接地。蒂芇膇检漏仪要放平稳,不能倾斜,检漏仪底面要有一层防静电布。袅蚅蚃加压罐压氦装置蕿罿肀图2蚄蚅袀加压罐压氦装置的外部接通顺序:写出设备外部条件的接通先后顺序,操作方法,具体的参数等。羀蒇芅1、把加压罐、电阻真空计、真空泵、氦气瓶按要求连接。蚇螄膃2、检查加压罐的密封圈是否有损害,加压罐进出阀门是否关闭不了;真空泵是否有足够的泵油,气镇阀旋钮是否处在关闭的位置;氦气瓶减压阀是否漏气现象。莁腿螁3、确认所有应该注意的事项没有问题之后可以接电源通电。蒆袄羁重氟油粗检螂蚇蚇图3芅羄袆查看温度检测线路和加热板线路没有破损。芃荿薁在油箱中加入适量的重氟油芈肄螈插上电源线,设定重氟油的温度进行加热处理,打开照明灯。当温度达到要求即可用来粗检产品。莀肁螆四、详细操作肇膄芆启动检漏仪螁薈芁连接电源插头,打开检漏仪开关。螅芄螀机械泵开始启动。膁芀膈面板上的指示灯亮。薄芄蚅液晶屏(LCD)显示如下信息::1%莆蒃肄当分子泵达到正常转速(100%)后,LCD显示:肀袈螂膅薃蚈PLEASEWAIT蒁薀虿00::OK羇螃螀FILAMENTRAMPUP#2芃螀螇当灯丝检测、加电完毕后,系统进入待机状态:蚆袃羃葿膇芃READYFORCYCLE蒄袃螁INLETVENT:ON袀袁袆如果检漏仪存放一段时间后的启动葿羄蚆如果检漏仪长时间不用后,再次开机会增加一额外的启动时间用来排出系统内的气体。此时屏幕显示如下图所示:膃荿肃芈肄蕿PLEASEWAIT薄肁芈Storagedays:肇膄肆Delay(mini:s):08:40肅蕿螄ABORT?PRESSRESET肀芄蚀检漏方法概述膂芁莆根据被检件和测量精度要求,选择合适的测量方法,如下图4所示衿芄蒅薃羂芀被检件可以被抽真空?薈莄蚁被检件可以被连接在真空管路上?羃莀蝿是是莆蒄羅莄膂羀全检(背压法)荿薄葿被检件可以被抽真空?