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氦质谱检漏仪使用说明
检漏仪及其真空系统的组成
VARIAN959-50检漏仪检漏漏率范围从1X10-3（毫升/秒）到2X10-10（毫升/秒）（相当于30年漏1毫升），它主要由质谱管、高真空泵、热偶规管、一系列按钮控制的阀、测试接口、真空和漏率指示，以及电路板等部分组成，其真空系统结构为（分子泵型），如图1：
图1 检漏仪真空系统结构图（分子泵型）
检漏仪开启后，V1、V2、V6阀打开，测试口与质谱管保持真空连接。如果按下“VENT”键，放气阀V3打开，V1关闭，测试口处于大气状态，同时V2打开，使分子泵、质谱管和机械泵连通。分子泵运行时，质谱管真空度要达到2X10-4TORR以上，才能给离子源灯丝加热。
检漏仪工作原理
图2 检漏仪工作原理图
如果被检系统有微小漏孔，在小孔周围喷氦气时，总有部分氦原子会通过漏孔进入检漏仪接口，通过其真空系统扩散到质谱管。质谱管是检漏仪核心组成部分，参见上图2，在电场和磁场作用下，灯丝发射电子使气体电离，电离后带正电的离子通过聚焦和孔集中后，进入分析磁场（磁场强度为2340高斯），由于受洛仑磁力作用，离子会发生偏转，其它外界条件相同的情况下，偏转半径由带电粒子电量与质量之比即荷质比决定，荷质比小的离子偏转半径小，荷质比大的粒子偏转半径大，只有氦离子才能通过抑制小孔到达收集极，信号经放大后，检漏仪报警。
三、控制和指示器功能说明：
序号
控制、指示器
功能
1
Vent Start Hold 和Test按钮
检漏仪开关时，控制各个阀的动作顺序
2
Pressure(压力指示)
显示测试口压力，单位millitorr
3
Leak rate(漏率指示)
显示漏率，单位std cc/sec(标准立方厘米每秒)，超过或低于测量量程，分别由上下端两个发光二极管（LED）“over”和“under”显示。随“range”和“Hi-Lo Sensitivity”档位选择不同，×10-指数窗口将显示4、5、6、7、8或9作指数
4
Range（量程选择）
量程选择共四个档位。旋钮上端圆孤指示从左到右，由最小漏率（最高灵敏度）到最大漏率（最低灵敏度）
5
Zero（调零）
电位器调节零点
6
FIL(灯丝指示)
质谱管灯丝发射后绿色LED显示灯亮，表示检漏仪处于测试状态
7
Hivac ok （真空度ok）
系统真空度达到要求后，绿色LED指示灯亮
8
Main power(主电源)
检漏仪总电源控制
9
Focus(聚焦)
调节聚焦电位
10
ION（离子源控制）
调节离子腔室电压，电位器可转10圈
11
Residual background(残余本底)
二位选择开关，检测真空系统残余本底，通常打在Run（运行）位置，如果要测氦本底，则打至check(检测)位置。
12
Coarse zero (粗调)
漏率显示粗调
13
Fil. Selector(灯丝选择)
二位开关选择灯丝1或灯丝2
14
Fil. On–Off （灯丝开关）
开关离子源灯丝
15
EMIS （发射控制）
通过改变灯丝电流来调节离子源电子发射
16
AUDIO（声音调节）
调节检漏仪板警声音
17
CAL.（校准控制）
校准电位器，使漏率读数和标准漏孔一致
18
Hi-Low SENSITITY（高低灵敏度选择）
二位开关选择高低灵敏度
高灵敏度=10-9-10-6CC/SEC
低灵敏度=10-8-10-5CC/SEC
19
可调磁铁
调节离子源电流，得到最大灵敏度
四、开机操作步骤（对分子泵检漏仪）
将待检设备和检漏仪接口接好确保不漏；
开前级机械泵电源；
打开右边小门，合上主电源开关，所有指示灯暂亮起，等到“TRURBO READY”指示灯亮；
“HIVACK OK”指示灯亮后，将“FIL”开关打到ON，灯丝指示灯亮，必要时多次重复这一步骤直到灯丝指示稳定；
按下START键；
当测试口压力降到绿色指示段（100 millitorr）时，TEST指示灯亮，三分钟后，如果测试口真空度降到绿色指示段，HOLO指示灯亮，压力降到100milltor以下后，HOLO指示灯灭，（如果真空度达不到要求，HOLD指示将在三分钟内发亮）；
检漏仪会自动上一步，直到测试口压力降到100毫以下；
被检系统喷氧检漏；
五、关机步骤
按下VENT键；
关掉检漏仪主电源；
关机械泵主电源；
以上操作使分子泵隔离大气，质谱管保持真空状态
六、检漏仪调零和校准
在检漏之前，检漏议质谱应调到对氦反应灵敏，这需要用到标准漏孔。有两种形式的标准漏孔，一种