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匹配器说明.doc


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由北京吉兆源科技研制成功的国产射频自动匹配器,可直接替代国外产品。因为手动匹配器是要不断地手动调整匹配器的阻抗而使输出达到工艺的要求,而自动匹配器则可以弥补这一缺陷,自动匹配器与电源完全独立,可配置国产、进口任何品牌的射频电源。节约射频系统成本。描述:功率:1000W,2000W,5000W三种频率:,使系统在接近匹配点时减速,即使是高Q值的系统也能达到精确的匹配效果。可替代进口匹配器。与国产电源配合使用,匹配良好。匹配器标准配置采用可调的L型匹配网络,满足绝大部分负载要求,也可根据客户负载阻抗设计配制匹配网络,实现自动匹配。主要功能:可以单独工作,配任何品牌射频电源可配合本公司电源,实现位置指示,,使在等离子体点火前,系统处于最有利于点火的位置,点火后自动调节位置达到匹配状态。范围和匹配中心点可调,有利于更加精确、快速达到匹配状态可通过数字接口与计算机通信(采集入射功率、反射功率、偏压等参数),并且可以计算机调控电容位置、设置匹配器内部参数等结构紧凑,体积小1000W2000W5000W电源输入AC180~240AC180~240AC180~~1000W0~2000W0~:DB15接口通讯协议:DB15接口通讯协议:RS232、485RS232、485RS232、485冷却方式强制风冷强制风冷水冷机箱尺寸385×260××260××320×

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  • 上传人drp539606
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  • 时间2019-08-01