电子能谱XPS分析1北师大测试中心吴正龙.docx

--------------------------校验:_____________-----------------------日期:_____________电子能谱XPS分析1北师大测试中心吴正龙北师大电子能谱分析指南0常见问题解答为什么我的样品结果(EXCEL文件)中只有一个元素的谱?请打开EXCEL,在datasheet中查收数据,如下图。或请教其他有使用经验的老师、同学。用鼠标点击查找所需要的谱图用鼠标点击箭头,寻找谱图为什么不给我峰拟合处理?我们可以给出一些简单、明确的峰拟合供您参考。但是,有时峰拟合受到多种元素影响,情况复杂,分析人员难以得到唯一、确定的结果。具体涉及样品情况、所研究问题等。送样人应根据制样过程、样品状况、研究内容等进行处理。峰拟合属于后期数据处理,可以帮助分析,不是实验测量的原始结果。送样人如果确实需要分峰处理(去谱峰卷积)及其它数据处理要求,可以提供峰拟合及其它所需相关信息资料,预约数据处理服务项目(联系电话010-58805597,电子邮箱,我们尽可能地满足大家的需求。我的样品很“干净”,为什么XPS结果仍有额外的C等元素?XPS表面分析灵敏度高,探测表面(~原子层)元素,样品在保管、传送、分析的过程中暴露在气氛中不可避免地会受到污染,C、O是最常见、最大的污染。Na也是常见的污染元素。,可以用氩离子清洁吗?几乎所有电子能谱仪均配备有氩离子清洁装置。可以用于清洁样品,但会带来副作用,即对样品表面破坏,且对样品的破坏程度无法正确预估。应该尽量选择温和、可接受的实验条件清洁样品,并不是溅射时间越长越好。(EDS)测量结果存在差别?XPS属于表面分析结果。EDS分析深度比XPS大得多。测量原理不同。未经分析校正两种结果不好比较。得到实验结果如何分析?先进行峰位校准。结果报告的是相对于某标准的参考峰(本实验一般使用)。一般用污染C1s峰(可以根据碳来源和需要采用,,)对所有峰进行校准。即使分析人员已经进行了校准也可重新检查校准峰位。定量结果报告见“peaktable”。请参看本文“2~4”章节。自行处理数据从哪里下载软件,有无中文说明书?下载Avantage软件试用版(30天过期后,临时修改计算机日期可以继续使用):链接到我的存储空间中下载(国内下载)Avantage版本[下载地址:;限校内老师和学生用户下载].(可更新到高版本)在英文系统中安装运行,可靠性高。建议使用及以下版本,一般能足够满足用户需求。如果使用高版本出现提示需要‘用户密码’,可以按以下方法处理:如下图,重新用鼠标右键点击Avantage图标,运行“以管理员身份运行”项。试试!目前还没有Avantage的中文说明书。Avantage软件为ThermoScientific公司(原英台上运行。一般用户不必专门阅读说明书,只需使用软件中的在线帮助。据我所知,一般大家遇到的问题Help文件中都能找到。Avantage软件功能强大,推荐使用该软件进行XPS数据处理,例如常用的分峰处理,谱图叠加比较,定量计算等功能。用户进行分峰处理也可使用XPSpeakfit小软件(网上可以下载软件和使用说明)。我的数据EXCEL文件有没有可能弄错?转换数据目前基本上是人工操作,有可能弄错。如怀疑有错误按下列方法查对,或与本实验室联系。打开报告给您的结果EXCEL文件,如:或者。2)着重注意方框中的数据文件与您的样品编号或名称是否相符。正常情况下EXCEL文件名与方框中数据文件的名称应该一致,且与您给定的样品编号或名称相符。如果出现问题请与实验室联系(本文件下方电话号码或email)。。阅读专业书,如:表面分析复旦大学出版社1989年第四章;X射线光电子能谱分析科学出版社1988年第3章,第4章;表面化学分析华东理工大学2007年第5章……)峰高度,ts;2)峰面积,单位cps·ts·eV。一般采用峰面积表示强度。在结果peaktable中有关项解释如下。PeakArea(N)=PeakArea(P)/(SF*TXFN*ECF)(在EXCEL结果中已经计算好,可以直接使用该数据。)原子含量(分数)比C1:C2:C3:…Ci:…=Area(N)1:Area(N)2:Area(N)3:…Area(N)i:…有时计算百分含量时重复计入同一元素计算,计算结果有误,此时可自己重新计算百分含量,at%:C1=100%*Area(N)1/(ΣArea(N)j),……,(注意!这里报告的是原子分数,不是质量分数。)参见Avantage中help文件Quantificat