微波泄漏处理操作作业指导书.doc

微波泄漏处理操作作业指导书一、微波泄漏处理的目的微波辐射是由安装在MH2000S微波发生器中的磁电管产生的一种电磁辐射。如果微波等离子源密封不好,在使用时候将产生一定级别的微波辐射危险,这种危险将会健康产生危害。鉴于这个原因,推荐使用微波探测器在一定条件下对其进行微波辐射检查。二、微波系统简介图一微波系统设计图微波系统是通过CAN总线进行PC控制。SINA系统使用的Roth&Rau等离子体源包含有4个主要器件:-111LL进行动力供给。定期对冷却水和微波电源架上的风机进行检查,看是否工作正常。,这种辐射是由位于MH2000S微波发生装置内的磁电管产生。,通过铜质天线、内部铜导体进入到腔室。铜质天线与内部铜导线是通过外圆锥与内圆柱的耦合装配起来的,耦合的好坏决定了微波的泄漏与否。在更换石英管期间,需要拔出铜质天线,将对铜质天线照成磨损。因此在保养期间应对铜质天线进行检查。检查铜质天线请按下面的步骤进行:(1)使设备处于能进行保养的状态。(2)拆卸SiNA系统的外壳。(3)将铜质天线拔出拿下。(4)检查测量铜质天线末梢的直径,,更换所有的已经弯曲了的铜质天线。(5)铜质天线旋转90度,再测量。(6)用刷子、砂纸或者清洁液清理铜质天线末梢,然后用异丙醇清洗。(87)用测量直径的方法检查铜质天线,,更换所有的已经弯曲了的铜质天线。(8)铜质天线旋转90度,再测量。(9)刷子、砂纸或者清洁液清理铜质天线,然后用异丙醇清洗。(10)在石英管安装之后,安装上铜质天线。图二,为铜质天线的头尾部实图:头部内部铜导体洁净的表面、正确的安放位置和恰当的直径都将降低从微波产生到反应腔之间的能量损失。因此在维修保养期间要仔细的检查铜导体,用刷子和异丙醇对内部铜导体进行清洁。更换所有已经弯曲的内部铜导体。图三,为内部铜导线在石英管的内部实物图:。三、MD-2000微波探测器简介MD-2000微波探测器是SINAL自带的、用于测量微波泄漏的一种常用仪械。使用该探测器需要重点注意的有四个地方:(1)sensor感应指示灯。测量到的微波大于5mw/cm2时,sensor指示灯就会亮起。(2)数显区。用于显示测量到的微波的值,显示的范围为0-10mw/cm2。测量到的值大于10mw/cm2的话,在显示区上显示“---”(3)按键。微波探测器仅有的一个按键。需要使用微波时,在远离微波的地方长按该键,。图四,为置零后的微波探测器。图四微波探测器置零置零后的微波探测器放置于需要测量的元件处,数显表上会显示微波泄漏值。在整个测量过程中勿松开该按键。(4