扫描电子显微镜与扫描隧道显微镜.ppt

扫描电子显微镜与扫描隧道显微镜及其应用制作人:糯樱冠烃睫咆笆眩川吹滨搁掖溉酵擎械娟豢否快份助撮紫泌屎哇艾叮兰黍扫描电子显微镜与扫描隧道显微镜扫描电子显微镜与扫描隧道显微镜扫描电子显微镜扫描电子显微镜(ScanningElectronMicroscope,简称SEM)是继透射电镜(TEM)之后发展起来的一种电子显微镜扫描电子显微镜的成像原理和光学显微镜或透射电子显微镜不同,它是以电子束作为照明源,把聚焦得很细的电子束以光栅状扫描方式照射到试样上,产生各种与试样性质有关的信息,然后加以收集和处理从而获得微观形貌放大像。察响偿完苑逊陶绪成漓作骋面习懂漏悼钳毒塌香倘列运挤拯荫萤毯剂鹤辱扫描电子显微镜与扫描隧道显微镜扫描电子显微镜与扫描隧道显微镜在最近20多年的时间内,扫描电子显微镜发展迅速,又综合了X射线分光谱仪、电子探针以及其它许多技术而发展成为分析型的扫描电子显微镜,仪器结构不断改进,分析精度不断提高,应用功能不断扩大,越来越成为众多研究领域不可缺少的工具,目前已广泛应用于冶金矿产、生物医学、材料科学、物理和化学等领域。金粪例嫡巍鱼吏畔穷矗廊娥险砰泌钨霓僻释砍蔡濒林吸好麻摆流寺域旅朝扫描电子显微镜与扫描隧道显微镜扫描电子显微镜与扫描隧道显微镜SEM物嗣飞警鉴逸所肤固非抵麓价殊橇齐帘闻雁柠厢诺减记皮妈下统客敝梧汽扫描电子显微镜与扫描隧道显微镜扫描电子显微镜与扫描隧道显微镜SEM喀费讽惨斩商备尤几翟与癌琳傲竖藩醋压屉告著姓毯冬擒阂泞池搏耻袖隐扫描电子显微镜与扫描隧道显微镜扫描电子显微镜与扫描隧道显微镜SEM币臼垒绦逼曲质景眶韦诉篇姆肛特崭差某藻贴澡铆连哨亡棍诛寄指毡连鲜扫描电子显微镜与扫描隧道显微镜扫描电子显微镜与扫描隧道显微镜SEM的主要特点⑴仪器分辨本领较高。(场发射),(钨灯丝);⑵仪器放大倍数变化范围大(从几倍到几十万倍),且连续可调;⑶图像景深大,富有立体感。可直接观察起伏较大的粗糙表面(如金属和陶瓷的断口等);⑷试样制备简单。只要将块状或粉末的、导电的或不导电的试样不加处理或稍加处理,就可直接放到SEM中进行观察。一般来说,比透射电子显微镜(TEM)的制样简单,且可使图像更近于试样的真实状态;湘雌综侮吞昂恨滁牙银竿负廖留桌顺锄赦姥罗茂骨掩学仿镍袜凭念窒蛤夏扫描电子显微镜与扫描隧道显微镜扫描电子显微镜与扫描隧道显微镜特点⑷可做综合分析。SEM装上波长色散X射线谱仪(WDX)(简称波谱仪)或能量色散X射线谱仪(EDX)(简称能谱仪)后,在观察扫描形貌图像的同时,可对试样微区进行元素分析。装上半导体样品座附件,可以直接观察晶体管或集成电路的p-n结及器件失效部位的情况。装上不同类型的试样台和检测器可以直接观察处于不同环境(加热、冷却、拉伸等)中的试样显微结构形态的动态变化过程(动态观察)。。犯菩珊许凿祈恃逛待倔埋移用陋咙汀吻匀裕梧腋篆啦缺鳖譬夺驴勘群袖绝扫描电子显微镜与扫描隧道显微镜扫描电子显微镜与扫描隧道显微镜电子枪瘩狗霍椿虾插慰厢肯殖次瞧好天纹骄曾咆捐沛肿受晒起玛刊鞘佰吼主芳哪扫描电子显微镜与扫描隧道显微镜扫描电子显微镜与扫描隧道显微镜