zygo干涉仪使用说明.doc

作业文件文件编号ZYGO干涉仪使用说明版本/修订页码1/81目的为了使员工正确熟悉的使用ZYGO干涉仪。本文详细说明了如何使用ZYGO干涉仪来测试晶体的平行度、波前、平面度等指标。2范围本文件涉及用ZYGO干涉仪检测平面元件的一般方法。3录取数据在检验过程中将会生成以下记录:(保存文件名为*.Tif),在实时窗口上点击FILE-SAVE保存。(保存文件名为*.Dat),测试完成后点击SAVEDATE保存。(application)应用是ZYGO干涉仪中一系列功能的组合,保存为后缀名为“*.app”的文件。不同的应用用于不同项目的测量。,GPI-,。(cateye)又称为标准镜的像。标准镜的出射光在焦点处被返回时出现的干涉条纹,是透过干涉仪的光线与和它对称的标准面之间的干涉图形。。包含待测零件的表面或波前信息,是面形检测的主要信息来源。,带有小倾角调节功能,一般用于放置平面元件。。align模式可以看到一个黑色固定的十字线和反射回干涉仪的光点,一般用于零件对准,特点是视场较大。View模式是按下控制盒上的align/view切换的2个模式之一,可以看到干涉条纹,特点是放大率较高,但是视场较小。一般在align界面对准后在view界面观察条纹。作业文件文件编号ZYGO干涉仪使用说明版本/修订页码2/,用于生成理想的平面、球面波,作为测量基准。,因为放大率不同或者屈光度不同,同样大小的干涉图所代表的零件大小可能有很大的差异。设定长度基准的目的就是告诉干涉仪图形中的一段长度相当于镜片中长度的多少,方便控制测量区域和设定掩膜。(mask)表明干涉图中有效区域的工具。可以根据需要设定有效区域的形状、大小、位置,也可以从有效区域中挖去一部分不需要的。5职责主要包括以下几个方面:。品管部经理负责保证过程实施所需的培训及资源。。。。,机箱控制面板上电源按钮:MASTER、MONITOR、AUX1、AUX2,以及干涉仪主机箱右侧下方POWER。,(如图一)操作软件,运行程序,进入ZYGO测试操作桌面。,如果没有,关闭当前的窗口,待其缩小为按钮后,在应用选择窗口中点击相应的应用。:(ALIGN/VIEW),使监视器处于排列状态。扭动参考反射镜上方的调节旋钮,调整镜面方向,使得反射镜反射回的最亮光斑与十字分划线交点重合。完成后,按遥控器上的显示切换键(ALIGN/VIEW),使监视器处于浏览状态。。,通过观察监视器调整晶体,使晶体垂直于测试光(监视器中晶体边缘清晰可见。),录入待测晶体的折射率(,如图二),按回车键确定。,在弹出的对话界面中点击Fringe按钮,对话框中图像显示会进行更新,锁定并显示监视器中画面。使用鼠标标记晶体通光面宽度,在弹出的对话框中,录入晶体通光面宽度,按回车键确定。(如图三、四所示),在弹出的有动态图像的对话框中,首先从下部选项中选择晶体外形标定(例如正方形则选择square)。在动态图像中,使用鼠标准确标定待测晶体,要求标定范围不能超出晶体。并在动态图像上方无晶体的空间内,选择与待测晶体规格相近的区域,此区域将作为参考区域。作业文件文件编号ZYGO干涉仪使用说明版本/修订页码4/8图三然后,点击下部选项中的BGInc使该按钮变为BGEXC,锁定选择区,点击Define,定义