洁净室每小时5T高纯水系统方案.pdf

项目名称:5m3/hr 高纯水系统工艺设计方案

建设单位:


设计单位:
设计资质:






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校核:
设计:
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目录
一、前言.............................................2
二、工作原理.........................................2
三、设计基础.........................................3
四、工艺流程描述.....................................3
五、仪表与控制系统..................................11
六、设计原则和设计标准..............................14
七、主要设备参数....................................17
八、设备规范与技术参数说明..........................20
九、工作范围与技术档................................21
十、性能保证.....................................24
附表:工程设备清单.................................27









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一、前言
该工程项目是根据精量电子(深圳)有限公司所提出有关要求并
结合现有设备而设计符合贵公司要求的系统规划书,本技术建议书所
描述的是该工程中一套正常生产能力为 的高纯水制备系统。
根据业主的要求以及我公司在水处理工程的成功经验,我公司提供的
高纯水制备系统的设计特点是:
(1)贵司要求反渗透出水电导率:≤5μs/cm;而单级反渗透不
能稳定此要求,所以我们设计双级反渗透。
(2)贵司要求出最终出水电阻率:≥10MΩ•cm,所以我们设计在
原再生混床的基础上再加一套精混床来确出水水质( 再生周期:
15 天/次)。
(3)贵司要求再生混床的再生期为 15 天/次,所以我们设计增大
再生混床直径,从而增加再生混床的树脂量。
(4)贵司现在要求最终出水电阻率:≥10MΩ•cm,所以我们设计
另增加一套精混床来确保出水水质,精混床内部树脂约三至四个
月更换一次。
(5)为确保最终出水电阻率:≥10MΩ•cm,又不造成二次污染,
供水管我们设计高纯水专用(PVDF)管。回水管还是用已安装好
的 UPVC 管。
(6)系统可自动操作,也可就地手动操作。
二、工作原理
反渗透是60年代发展起来的一项新的膜分离技术,是依靠反渗
透膜在压力下使溶液中的溶剂和溶质进行分离的过程。
要了解反渗透法除盐原理,先要了解“渗透”的概念。渗透是一
种物理现象,当两种含有不同浓度盐类的水,如用一张半渗透性的薄
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膜分开就会发现,含盐量少的一连的水分会透过膜渗到含盐量高的水
中,而所含的盐分并不渗透,这样,逐渐把两连的含盐浓度融和到均
等为止。然而,要完成这一过程需要很长时间,这一过程也称为自然
渗透。但如果在含盐量高的水侧,施加一个压力,其结果也可以使上
述渗透停止,这时的压力称为渗透压力。如果压力再加大,可以使水
向相反方向渗透,而盐分剩下。因此,反渗透除盐原理,就是在有盐
分的水中(如原水),施以比自然渗透压力更大的压力,使渗透向相反
方向进行,把原水中的水分子压到膜的另一边,变成洁净的水,从而
达到除去水中盐分的目的,这就是反渗透除盐原理。
三、设计基础
1、本方案涉及的流程及设备是为了满足高纯水项目,要求如下:
(1)产水用途:传感器的制程用水
(2)系统总进水:预处理 10m3/hr
(3)一级 RO 出力:,回收率 70%,出