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axl-8自动硅片上下料装置技术文档.doc


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无锡市帕普勒自动化科技有限公司报价单致: 青海锦国兴新能科技有限公司下列报价为人民币含税价: 序号名称规格单价备注 15道上料装置 AQSL-5 22万元 25道下料装置 AQXL-5 26万元无锡市帕普勒自动化科技有限公司无锡市帕普勒自动化科技有限公司 ASL-5 自动硅片下料装置技术协议 设备名称:自动硅片下料装置 型号: AXL-5 设备用途:将5道在线制绒或刻蚀设备中的硅片装入用户指定的篮具中。整个过程只需定期把篮具放置于自动换篮组件上, 大大降低人工强度,降低碎片率,减少手工跟硅片的接触,避免了人为因素对硅片的污染,有效地提高了成品率和转换率,创造可观的经济效益。 AXL-5 工位数量在线制绒设备为 5道清洗滚轮设计电源 AC380V/50 Hz(自带 T3-16A 电源插头) 整机功率 4 KW(自带漏电保护) 适用硅片规格 156 × 156 (± ) 、 125 × 125 (± ) 链接制绒设备跑道链接 5跑道,在线制绒设备装片速度≈ 3200Pcs/h 无锡市帕普勒自动化科技有限公司压缩空气压力: ≥ 压缩空气接口 PU10 管快速接口碎片率≤ 1/2000 Pcs (不含本身隐裂、应力等缺缺陷片) 控制系统国际品牌微电脑控制模块、交流伺服数码驱动器执行系统国际品牌数位伺服电机,精密机械传动结构控制显示器人机交互彩色液晶触摸屏外形尺寸 D×W×H 3200 × 2000 × 1450 其他定制机型报价 PLC 控制,设备的工艺动作及各项工艺参数,可以通过触摸屏直接设置和操作,人机界面有程序过程控制、故障报警、安全保护等功能。 下料设备局部示意图及工作流程 下料流程示意图( ■代表硅片) 无锡市帕普勒自动化科技有限公司 设备主要工作流程●硅片由在线设备纵向传送皮带传送,纵向传送皮带分为两段, 前段为恒速皮带; ●纵向传送皮带后段将硅片加速传送至横向传送皮带上方; ●5 组纵向传送皮带在在气缸整体驱动下下降,将硅片平稳过渡到横向传送皮带上; 无锡市帕普勒自动化科技有限公司●横向传送皮带为 5段,由微电脑智能判断分别向左和右传送, 横向传送皮带由外向内依次启动; ●正常状况下硅片经过缓存、装片的皮带传送结构直接装入篮具,篮具的升降由伺服电机实现; ●空篮具放在左右两侧自动换篮组件上层的入口; ●同步带传送机构将篮具传送至篮具传送升降机构,篮具传送机构下降将篮具传送至装片区; ●篮具装满后由同步带传送至自动换篮组件下层的出口; ●篮具更换时硅片存入缓存结构的暂存盒内; ●整个过程只需要把篮具放置于自动换篮组件上,大大降低人工强度,降低碎片率,减少手工跟硅片的接触,避免了人为因素对硅片的污染,有效地提高了成品率和转换率,创造可观的经济效益。 主要结构●纵向传送机构: 由两段传送带组成,恒速段传送皮带的带速与在线设备匹配,硅片脱离恒速段后加速,拉开与下一组片之间的间距。硅片到达横向传送皮带上方后升降气缸带动皮带向下运动,将硅片平稳过渡到横向传送皮带上。●装片结构: 装片传送结构的传送带在气缸驱动下可伸入篮具,硅片进入篮具时有导向进行校正; 无锡市帕普勒自动化科技有限公司篮具提升机构采用伺服电机精确控制运动; ●自动换篮组件: 自动换篮组件分为上下两层,由同步带实现传送。空篮具放在上层入口,满篮具由篮传送至下层出口。 纵向传输机构●传送装置:传送装置选取对硅片无损伤和无污染的进口皮带; ●传送升降结构:采用气缸带动皮带下降,把到位的硅片从纵向传送改为横向传送,平稳的进行过渡。 装片结构与自动换篮组件●空篮具放在自动换篮组件的放盒位置; ●同步带将空篮具传送至篮具传送升降机构,升降机构下降并将篮具传送至装片位置; ●装片传送结构的传送皮带伸入篮具装片; ●篮具装满后由同步带传送至出盒位置; 电源: 380V 三相五线 10A 50Hz 压缩空气:( ~ ) MPa 8mm 气管接口 提供使用说明书和产品合格证等资料。 使用说明书中含操作规程、原理图、接线图和气路图。无锡市帕普勒自动化科技有限公司 安装:我方向现场施工人员提供关于设备安装所需的所有细节,以便用户准备现场,为设备安装做准备。我方负责设备安装调试,用户提供协助。 培训:在安装期间,我方在现场为需方操作人员提供培训。培训应包括正常操作、维修保养、操作问题的分析及紧急处理程序。 保质期:设备验收合格起一年或发货后 15个月(以先到

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