超纯水.doc

超纯水百科名片纯度极高的水。集成电路工业中用于半导体原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制备和硅片氧化用的水汽源等。此外, 其他固态电子器件、厚膜和薄膜电路、印刷电路、真空管等的制作也都要使用超纯水。简介超纯水: 既将水中的导电介质几乎完全去除, 又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水。电阻率大于 18M Ω*cm ,或接近 Ω*cm 极限值。超纯水, 是一般工艺很难达到的程度,采用预处理、反渗透技术、超纯化处理以及后级处理四大步骤, 多级过滤、高性能离子交换单元、超滤过滤器、紫外灯、除T OC 装置等多种处理方法,电阻率方可达 Ω*cm 超纯水是美国科技界为了研制超纯材料( 半导体原件材料、纳米精细陶瓷材料等) 应用蒸馏、去离子化、反渗透技术或其它适当的超临界精细技术生产出来的水, 这种水中除了水分子(H20) 外,几乎没有什么杂质,更没有细菌、病毒、含氯二恶英等有机物,当然也没有人体所需的矿物质微量元素,一般不可直接饮用,对身体有害,会析出人体中很多离子。工艺流程超纯水,目前的主要工艺流程 1. 预处理---- 复床---- 混床--- 抛光树脂 2. 预处理---- 反渗透--- 混床--- 抛光树脂 3. 预处理---- 反渗透----CEDI 膜块---- 抛光树脂中国国家实验室分析用水标准中国国家实验室分析用水标准( GB6682-92 )《分析实验室用水规格和实验方法》: 指标名称一级水二级水三级水 1 级水>10M Ω;2 级水>1M Ω;3 级水> Ω PH 值范围( 25 ℃)---- - 比电阻 MΩ.******@25 ℃> 10 1 电导率( 25 ℃) us/cm ≤ 15 可氧化物[以O计]mg/L -- 吸光度( 254nm,1cm 光程) ≤ -- 二氧化硅( mg/L ) -- 蒸发残渣( mg/L ) -- 区别纯水, 高纯水, 超纯水的区别纯水纯水是指既将水中易去除的强电介质去除,又将水中难以除去的硅 OKP 超纯水酸及二氧化碳等弱电解质去除至一定程度的水。纯水的含盐量在 以下, 电导率小于 50 μ s/cm 。高纯水高纯水是指将水中的导电介质几乎全部去除,又将水中不离解的胶体物质、气体和有机物均去除至很低程度的水。高纯水的含盐量在 0. 3mg/L 以下, 电导率小于 0. 2μ s/cm 。超纯水超纯水是指将水中的导电介质几乎全部去除, 又将水中不离解的胶体物质、气体和有机物均去除至很低程度的水。概况纯度极高的水。集成电路工业中用于半导体原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制备和硅片氧化用的水汽源等。此外,其他固态电子器件、厚膜和薄膜电路、印刷电路、真空管等的制作也都要使用超纯水。超纯水是指下列杂质含量极低的水:①无机电离杂质,如 Ca 、 Mg 、 Na 、K、 Fe 、 Fe 、 Mn 、 Al、 HCO 婣、 CO 婣、 SO 嬄、 Cl、 NO 娱、 NO 婣、 SiO 婣、 PO 等;②有机物, 如烷基苯磺酸、油、有机铁、有机铝以及其他碳氢化合物等;③颗粒, 如尘埃、氧化铁、铝、胶体硅等;④微生物, 如细菌、浮游生物和藻类等;⑤溶