EDS能谱检测 PPT.ppt

EDS能谱检测EDSEDS可以与SEM,TEM等组合,其中SEM-EDS组合是应用最广的显微分析仪器,EDS的发展,几乎成为SEM的标配。是微区成份分析的主要手段之一。能谱仪:EDS(EnergyDispersiveSpectrometer)•能快速、同时对各种试样的微区内Be-U的所有元素,元素定性、定量分析,几分钟即可完成。•对试样与探测器的几何位置要求低,可以在低倍率下获得X射线扫描、面分布结果。•能谱所需探针电流小:对电子束照射后易损伤的试样,例如生物试样、快离子导体试样、玻璃等损伤小。•%-%,中等原子序数的无重叠峰主元素的定量相误差约为2%。能谱的特点定性分析X射线的能量为E=hγh为普朗克常数,γ为光子振动频率。不同元素发出的特征X射线具有不同频率,即具有不同能量,只要检测不同光子的能量(频率γ),即可确定元素-定性分析。能谱定性分析原理定量分析分析方法有标样定量分析:在相同条件下,同时测量标样和试样中各元素的X射线强度,通过强度比,再经过修正后可求出各元素的百分含量。有标样分析准确度高。 :标样X射线强度是通过理论计算或者数据库进行定量计算。试样中A元素特征X射线的强度IA与试样中A元素的含量成比例,所以只要在相同条件下,测出试样中A元素的X射线强度IA与标样中A元素的X射线强度I(A)比,近似等于浓度比:KA=IA/I(A)~CA/C(A)当试样与标样的元素及含量相近时,上式基本成立,一般情况下必须进行修正才能获得试样中元素的浓度。KA=CA/C(A)×(ZAF)A/(ZAF)(A)(ZAF)A和(ZAF)(A)分别为试样和标样的修正系数EDS定量分析原理ZAF定量修正ZAF定量修正方法是最常用的一种理论修正法,一般EPMA或能谱都有ZAF定量分析程序。Z:原子序数修正因子。(电子束散射与Z有关)A:吸收修正因子。(试样对X射线的吸收)F:荧光修正因子。(特征X射线产生二次荧光)EDS定量分析原理半定量分析无标样定量分析无标样定量分析是X射线显微分析的一种快速定量方法。强度比K=IS/IStd。表达式中IStd是标样强度,它是由纯物理计算,或用标样数据库给定的,适应于不同的实验条件。其计算精度不如有标样定量分析。大家学习辛苦了,还是要坚持继续保持安静EDS的分析方法-点分析电子束(探针)固定在试样感兴趣的点上,进行定性或定量分析。该方法准确度高,用于显微结构的成份分析,对低含量元素定量的试样,只能用点分析。