透射电子显微镜
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精选课件
电子束与物质的相互作用
阴极发光
轫致辐射
X 射 线
透射电子
俄歇电子
衍射电子
二次电子
反射电子
吸收电子
电 子
探 针
扫描
电镜
透射电镜
俄歇电子谱仪
入射电子束
样 品
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精选课件
透射电子显微镜的主要功能
成像：
明场像，暗场像
格子像，原子像
衍射
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精选课件
电子衍射
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精选课件
X射线衍射
多晶电子衍射
单晶电子衍射
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精选课件
电子衍射花样的分析包括两个方面：
1）衍射几何：电子束经晶体散射后所产生的干涉线或斑点的位置；
2）衍射强度：即电子束经晶体散射后所产生的干涉线或斑点的强度。
从衍射几何方面的分析可获得大量的晶体学信息，
本部分重点讨论衍射斑点的形成原理与其物理意义。
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精选课件
电子衍射与电子衍射仪
★薄晶体的电子衍射特征：
⑴厄瓦尔球半径比倒易矢量大几十倍
⑵衍射角很小，衍射线集中在前方
⑶倒易点被拉长为倒易杆，倒易杆方向垂直于薄膜厚度
★以上三个原因决定使得电子束相对晶体任何取向，在倒易原点附近都会有许多倒易杆与球面接触或交截，从而可以得到许多衍射线。衍射线的方向为连接球心和倒易杆与球的交点，如图所示
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