硅芯炉培训教材.ppt

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硅芯炉培训教程
A洛阻金诺_硅芯拉制人员要求
硅芯拉制人员应具备高中以上文化程度;
·懂得基本的工厂用电安全规范
勤学习,爱思考,因为硅芯拉制原则上不
是很难的事情,但拉制中有很多的参量需
要控制和调节,拉制人员需要掌握它们之
间的相互关系。
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系统概述
提拉头
硅芯炉整体外观
(快、慢
上炉室
电机)
仔晶托盘
和结构
下炉室筒
加热线圈
槽路箱
运动控
制柜
直流高
压柜
机架底座
(快、慢及旋
氩气控
转电机)
制盘
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系统概述
硅芯炉主要组成部分:
机械部分:提拉头、上炉室、炉筒、下炉室、底座、槽
路箱支架等
2、水冷系统:进水分流管、出水会流管、槽路箱冷却管路、
炉体冷却管路、加热线圈冷却管路等;
3、真空系统:真空泵、真空电磁阀、真空管路等:
4、氩气充放系统:氩气充放控制盘、氩气管路等;
5、高频电源系统:高压直流部分、槽路震荡部分、功率调
节控制盒;
6、运动控制系统:运动控制柜、上下轴动作电机及编码器
手操盒等;
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机械部分
(重点个绍与在芯拉制直接相关的内容
1、上轴快慢速传动
上轴传动采用软轴提拉方式,有电机、减速机、电磁离合
器、卷轴、钢丝软轴、机槭手、籽晶夹头等组成;
2、下轴快慢速传动:
下轴传动采用丝杆方式,有电机、减速机、电磁离合器、
丝杆、下轴滑动块、下轴支撑杆等组成;
3、下轴旋转传动:
下轴旋转有电机、减速轮、下轴支撑杆组成
4、料盘动作:
·料盘用于存放籽晶和成品硅芯,有电机、减速机、连接杆
料盘等组成;
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高频电源
高频电源的组成和功能:
1、直流高压柜
把三相市电转换成用于产生高频振荡所需的高压直流电(即阳压)
并且根据设定的数值自动调节稳定直流高压,确保振荡均匀。
系统包括升压、整流、滤波和反馈隔离调节等几个部分。
·2、槽路箱
槽路箱完成直流到交流的转换,并感应输出高频电流至加热线圈,用
于感应加热并融化硅料棒。
槽路箱分成三个箱体,从前到后分别是槽路振荡箱、电子管箱、栅偏
电阻和灯丝变压器箱。
3、功率调节控制盒
用于操作人员完成启停加热,设定直流高压,调节加热功率,同时显
示阳压和阳流数值
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高频电源
二、高频电源系统框图:
明可是含压升压压经箱|磊
电抗器、电容波本电流
槽路输出
和积分的
和相位的
定限<
三相式全
电位番设定
电压漫量
电流凋量
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运动控制
、运动控制系统结构图「P
(SIEMENS)
HMI
(HITECH
AC/DC MOTOR
主令开关
YASKAWA、
速度设定等
SANYO)
AC/DC SERVO
(YASKAWA、UsA)
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运动控制
二、运动控制系统组成和功能
运动控制系统主要有触摸屏(HM|)+PLC
(通用控制器)+直流、交流伺服系统(执
行机构)组成。
·功能是根据工艺的要求,完成对上下轴的
运动控制,并对过程中的参数进行调整和
监视,应具有操作和设定方便,界面友好
的特性。
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运动控制
三、运动控制主要部件介绍
1、触摸屏(HM)
·HM是 Humen Machine Interface的简称,用做人机交互
的界面。操作人员可通过此界面对设备进行控制,并可从
界面获得设备运行的实时信息。
硅芯炉,磷硼检炉使用的HM是海泰克品牌的触摸屏,为
我国台湾生产。此屏专为工业使用设计,有较强的抗干扰
能力,在国内有广泛的应用