精密和超精密加工和机床设备.ppt

Precision and ultraprecision machinin
密包超精密勿三线E
舒姗密题密的视没备
20203/25
Bo精密和超精密机床发展梳况及曲型机床
简介
38精密主轴部件
3床身和精密导轨部件
B4进给驱动系统
36微量进给裝置
3③机床运动部件位移的激光在线检测系
B7机床的稳定性和减振隔振
B8减少变形和恒温控制
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精窖起精密视房漫展秘况
一、发展概况
精密机床是实现精密加工的首要基础条件。
1)美国:50年代首先发展了金刚石刀具的超精密切
削技术,并发展了相应的空气轴承主轴的超精密机
床;1983~1984研制成功大型超精密金刚石车床
DTM-3型和 LODTM大型超精密车床
2)英国:1991粘研制成功大型超精密机床
OAGM2500
3)日本:现在在中小型超精密机床生产上已经具有
定的优势,甚至超过了美国
4)中国:JCS-027超精密车床、JCS-031超精密
铣床、JCS-035超精密车床等。
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-
公司名称
国别截止助政奔度
机床产值(百万美总产值(百万美元)
德国2008,的
2770,6
山崎马扎克
264
吉德曼

1s74
机
203,03
使克特


关回20
30
沈阳机床
山类绽高

m
阿奇夏
舒勒
德国


德国|
重(HIA)
2007,12
716,9
566,9
因代克
德国|
百超
p20pany山蜥荚」
2194,6
精窖起精密视房漫展秘况
二、典型机床简介
Union Carbide公司
的半球机床
能加工直径100mm的半球,达到尺寸精
度正负06μm,
精密空气轴承主轴采用多孔石墨制成
油衬,径向空气轴承的外套可以调整
自动定心,可提高前后轴承的同心度
以提高主轴的回转精度。
§
1一工件主轴2-刀其头某主轴一刀具头墨4
熟轴衬5一前止樵板5-进气
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后止推一性止被乐9调整嫁钉1-外毫体
二、典型机床简介
Moore车床
由 Moore3型坐标测量机改
造而成。采用卧式主轴
坐标精密数控,消振和
防振措施,加强恒温控制等
M-18AG型超精密非球面车床
基本结构同 Moore3,采用
气静压轴承主轴、气浮导轨、
双坐标双频激光测量系统、
优质铸铁床身,有恒温油浇
淋机和空气隔振垫支承。
图
Moore车床
1一空气轴承主轴2—金刚石刀具
刀具夹持器4—精密
转台
空气垫(3点支承)6主电动机
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二、典型机床简介
neumo公司的MSG-325超精密车床
采用T形布局,机床空气主轴的径向圆跳动和轴向
跳动均小于等于005μm。床身溜板用花岗岩制造,导
轨为气浮导轨;
双坐标精密数控系统驱动,用HP5501A双频激光干涉仪
精密检测位移。
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典型机床简介
DTM-3大型超精密车床
采用精密数控伺服方
式,控制部分为内装式
CNC装置和激光干涉测长
仪,精确测量定位,在
DC伺服机构内装有压电
微位移机构,实现纳米
级微位移。
图44美LLL实验室的3号大型
超精密车床(DTM-3)外观图
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LODTM型立式大型光学金刚石车床
Large machines and Capabilities
Diamond Turning Machine 3(DTM 3)
Largest size capacity. -m diametral
Independent kinematic metrology
Oil shower thermal isolation
Large Optics Diamond Turning Machine(LODTM)
Vertical axis lathe
-m diametral by -m axial capacity
Fully compensated motion control
25-nm ms accuracy
二、典型机床简介
大型光学金刚石车床 LODTM
机床采用立式结构,采用止
推轴承,7路高分辨力双频激光
量系统,4路激光检测横梁上
溜板的运动,3路激光