上海建桥学院薄膜制备技术课程教案（10级本）.pdf

上海建桥学院
薄膜制备技术课程教案(10 级本)
周次 1 第 1 次课学时 4 教案设计人顾永明
第一章绪论
章节名称
第二章薄膜制备的真空环境
授课形式理论课√案例讨论课□实验课□习题课□其他□
本次授课目的与要求
、意义、种类、特性、应用、发展远景;

本次教学重点与难点
真空为何会防止薄膜被氧化和沾污,为何能提高薄膜淀积速度
教学内容提要及时间分配教学方法与手段设计
(可添页)
第一章绪言
一、薄膜定义;
二、薄膜意义;
三、薄膜种类;
四、薄膜特性、应用;
五、薄膜发展远景
第二章薄膜制备的真空环境
一、真空、真空单位及换算、等级
二、真空防止氧化和沾污
三、真空提高淀积速度
四、不同成膜方法需要的真空范围
板书设计
(可添页)
课外复习、预习要求及作业布置
课后小结
1
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薄膜制备技术课程教案
周次 2 第 2 次课学时 4 教案设计人顾永明
章节名称第三章真空蒸发镀膜法(PVD1)
授课形式理论课√案例讨论课□实验课□习题课□其他□
本次授课目的与要求
;蒸发速度、蒸汽压以及其与蒸发温度关系;影响淀积速度与质量的因
素;合金与化合物的蒸发特点及膜层组成控制。
、适用范围。
本次教学重点与难点
1. 蒸发速度和淀积速度与蒸发温度关系;淀积速度和基片材料及温度的关系
2. 合金与化合物的蒸发特点及控制膜层组成偏离的工艺
3. 膜层纯度和厚度均匀性
教学内容提要及时间分配教学方法与手段设计
(可添页)


(一)起始真空度确定
(二)元素材料蒸发与淀积
(三)合金与化合物的蒸发与淀积


(一)电阻加热
板书设计
(可添页)
课外复习、预习要求及作业布置
习题 6 道
课后小结
2
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薄膜制备技术课程教案
周次 3 第 3 次课学时 4 教案设计人顾永明
第三章真空蒸发法(续)
章节名称
第四章溅射镀膜法
授课形式理论课√案例讨论课□实验课□习题课□其他□
本次授课目的与要求
懂得溅射是如何产生的;溅射的主要物理现象;溅射率及影响因素;了解各种常用溅射方法的工
作原理、特点、应用。熟悉几种新材料的溅射工艺
本次教学重点与难点
影响溅射率的因素,几种常用溅射方法的工作原理、特点与应用。
教学内容提要及时间分配教学方法与手段设计
(可添页) 适当加强基本理论知识;
(二)电子束蒸发法归纳总结各种蒸镀方法
(三)激光蒸发法的特点、应用。


第四章


(一)溅射的描述
(二)放电与溅射
(三)溅射现象
(四)溅射率及影响因素
(五)溅射特性
板书设计
(可添页)
课外复习、预习要求及作业布置
课后小结
3
上海建桥学