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电子显微镜7676333534电镜技术及其应用简介

•材料性质的决定因素
成分 、
工艺「类型
组织V结构XRD, TEM
I形貌U> SEM
1938年，德国
工程师Max Knoll和 Ernst Ruska制造岀
了世界上第一台透射 电子显微镜(TEM)o
Max Knoll(1897-1969) Ernst Ruska(1906-1988 电子显微镜的分辨率可以达到纳米级(10-9nm)o 可以用来观察很多在可见光下看不见的物体，例如病 毒。
1952年，英国工程师Charles
Charles Oatley
Oatley制造出了第一台扫描电 子显微镜(SEM)o
电子显微镜下的蚊子
X 3^000
俄歇能谱 入射电子
俄歇电子
SEM
背散射电子
SEM
阴极发光
二次电子
X射线
能谱/波谱
透射电子 TEM
电子显微镜
•电子显微镜(Electron Microscopes)
利用电磁场偏着电子束、聚焦电子束 及电子与物质作用原理来研究物质构造及 微细结构的精密仪器。
用电子光学仪器研究物质组织、结构、 成分的技术称为电子显微术。
1、透射电镜
透射电子显微镜(Transmission Electron Microscopes, TEM) ——是一种高分辨率，高放大倍数的显微镜，是观察和分析材料 的形貌，组织和结构的有效工具。它用聚焦电子束作为照明源， 使用对电子束透明的薄膜试样(几十到几百nm),以透射电子为 成像信号。
原理：电子枪产生的电子束经仆2级聚光镜会聚后均匀照射到 试样上的某一待观察微小区域小，入射电子与试样物质相互作用 ,由于试样很薄，绝大部分电子穿透试样，其强度分布与所观察 试样区的形貌、组织、纟吉构一一对应。投射出试样的电子经物镜 、中间镜、投影镜的三级磁透镜放大投射在观察图形的荧光屏上 ,荧光屏吧电子强度分布转化为人眼可见的光强分布，于是在荧 光屏上显出与试样形貌、组织、结构相应的图像。
施射电子显微镜与光学显微镜的结枸
及成像原理对比简图
电子枪
电磁透镜
样品
遠射电镜光路