透明软质薄膜的表面形貌测量-论文.pdf

第 卷 第 期 中国光学 ． ．
年 月 ．
文章编号
透 明软 质 薄 膜 的表 面 形貌 测 量
刘淑杰，张元良，张洪潮
大连理工大学机械工程学院，辽宁大连
摘 要 ：为 了实现光刻胶表面形貌的广域 、高精度测量 ，对新一 代测量理论 及测量方法 进行 了研究 。首先分 析了被测 物件
的特性 ，根据其柔软 、透 明的特征提 出应用光干涉法和机械探针 相结合 的方 法进 行测量 ，同时 阐明了使用 此方法进 行表
面形貌测量 的优点 ，并据此原理搭建了光学多探针表面形貌测量装置 ，光学测量 部分采用 白光干涉计 ，探 针部分采 用拥
有 只球型探头 的多点悬臂测量探针 。然 后应用此 装置对标 准刻槽 试件 和半 透 明光造型薄 膜试 件进行 了测量 。测量
的标准刻槽试件时得到 了测量误差小于 ％ ，标准偏差小于 的结 果 ，表 明本 装置可 以达到高精度测 量表面形
貌 的 目的。通过测量 高约 的树脂 材料证实了此装置可以克服多重反射的影响测量透明薄膜的表面形貌。
关 键 词 ：表 面形貌测量 ；光刻胶 ；白光干 涉；多点球