反射式1%2f4波片及其光学膜系设计研究.pdf

华中科技大学硕士学位论文摘要波片也称为相位延迟器,它能使偏振光的两个互相垂直的线偏振光之间产生一个相对的相位延迟,从而改变光的偏振态。它在偏振技术中有着重要作用。通常波片都是透射使用的,它广泛应用在起偏、检偏等与偏振相关的光学领域。而且和其它的晶体、饩怠⒎质裙庋Я慵楹希梢宰槌尚涡紊ā⒚爬喾倍嗟的光学系统。可是在使用波片反射的情况下则需要一个波片加一个反射镜,结构较为复杂。比如在一些希褂昧朔瓷涫讲ㄆ涂墒辜苫岣撸龀龈⌒偷钠件。反射式波片的结构是由一块波片,一块玻璃材料组成:波片的一面镀上高反膜,再与玻璃材料胶合,波片的另一边需要镀增透膜。本文的主要内容:反射式波片生产的重点问题是如何克服反射膜的应力对波片面形的影响、如何消除膜层的光谱性能对生产过程中波片厚度测量的影响。通过软件进行膜系设计,使波片厚度和平面度的测量系统所使用波长处的透射率提高,避免在测量波长处出现反射峰。通过降低镀膜温度,降低镀膜机等离子源发射的能量,改变镀膜时不同膜料的充气量来调节真空度,从而降低膜层应力,使反射式波片的形变减小到客户需求的指标。因此我们采用倍频反射膜,避开波片测量仪的测量波长处和的反射峰:采用不加热的离子辅助镀膜方式,采用合适的工艺条件镀制了的反射式四分之一波片。波片的光谱指标达到客户要求和加工、检测要求,透射波前畸变、平行度、延迟相位和延迟精度都能这到客户要求。关键词:波片相位延迟高反膜膜层应力膜系设计
一;——。———————————————————————————————————一华中科技大学硕士学位论文..甊琣,,曲瑆:..瑂琍,籵.,瑃;甌甌畇琾甀琽疭
⋯燧名≯≯符璋毒手/聿高耷日期:辍f岫在——年解密后适用本授权书。独创性声明学位论文版权使用授权书日期:勾年罗日指导教师签名本人声明所呈交的学位论文是我个人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。尽我所知,除文中已经标明引用的内容外,本论文不包含任何其他个人或集体已经发表或撰写过的研究成果。对本文的研究做出贡献的个人和集体,均已在文中以明确方式标明。本人完全意识到本声明的法律结果由本人承担。学位论文作者签名本学位论文作者完全了解学校有关保留、使用学位论文的规定,即:学校有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子版,允许论文被查阅和借阅。本人授权华中科技大学可以将本学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索,可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存和汇编本学位论文。保密口,本论文属于不保密翻。朐谝陨戏娇蚰诖颉啊獭躩’’“.
。在工程学、物理学和化学等方面正广泛应用偏振光的技术和基于偏振光原理的测量仪器。立体电影和光弹性学的应力分析等,很早以前就利用了偏振光原理。最近随着外围技术的发展,更引起人们的重视并扩大了其应用范围。随着网络的迅猛发展,光纤通讯及其应用也得到了飞速的发展,各种光传输的控制元件相继出现。在光隔离器、光开关、光环形器、光调制器,以及象梳状密集形波分复用器雀丛悠骷校衿饔敕瓷渚怠⒎止馄纫黄鹱槌烧庑┢骷在光存储方面,从发展成到,和近来的蓝光9ぷ鞑ǔぴ来越短、记录容量和密度也越来越大,偏振器在这方面的也越到了重要作用。在视像领域,允炯际跛淙灰灿泻艽蟮慕剑且壕允镜募际醴⒄瓜然远远地超过渲衅衿饕惨谎鸬阶饔谩M毕蟊惩队暗缡拥纫谎氩豢R云振器为主的光引擎器件。波片也称为相们延迟器,它能使偏振光的两个互相垂直的线偏振光之间产生一个相对的相位延迟,从而改变光的偏振态。因此它在偏振技术中有着重要作用。它在无源器件中主要作用是作为偏振控制器,控制光的偏振态,可将任意偏振态的输入偏振光,转变为输出端指定的偏振状态。提出的偏振控制器的方案很多,但基本上是由光延迟器波片ü谋溲映倭炕蛑髦岬姆较蚶词迪制窨刂疲惺迸湟怨夥糯笃鳌本文课题的来源是由于公司在开发一种新型的密集型梳状滤波器所示。本文所研究的反射式波片就是在类似的应用中用来替换一个波片与一个反射镜的组合,如图中的和7瓷涫剿姆种徊ㄆ驼飧鲇τ弥械囊桓龅湫屠犁。
华中科技大学硕士学位论文———————————————————————————————————————一课题综述行度小于保辔谎映倭课獂/延迟精度为九/Dげ阒副攴治8叻帜%胶合涸鐾改な牵篈萄;町在图中:H肷涠俗贾逼鳎、3錾涠俗贾逼鳎~2煌束比的分束片,Hǚ淳担,即为反射式波片。反射式波片的使用使的该结构非常简单,安装也非常方便。本课题的主要是设计和制造一个姆瓷涫乃姆种一波片,它包括一个的四分之一波长的零级波片、一个玻璃片和一个被胶合在波片与玻璃片之间的高反膜以及一个镀在波片另一面的增透膜。要求波片的平指标和增透膜的指标,高反膜为:图马赫~泽德干