等离子体沉积相关技术在制备纳米结构碳氮薄膜上的应用.pdf

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吴嘉达教授许宁副教授孙剑
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目录摘要⋯⋯⋯第一章引言⋯⋯⋯⋯参考文献⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.ㄏ蚺帕刑嫉D擅捉峁沟纳せ怼菊滦〗帷等离子体相关技术制各纳米结构薄膜的背景⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯纳米结构碳氮材料⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯碳氨薄膜材料⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯本文的内容与总体结构⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..氮等离子体和原子束的产生⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.等离子体反应气相沉积技术】⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.∧ぶ票干系挠诺恪原子束辅助脉冲激光烧蚀沉积技术】⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯气体放电的定义及基本过程【俊辉光放电产生装置及实验细节⋯光谱测量结果与分析⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..宸⑸涔馄住基团的形成⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯,⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.实验装置改进和纳米结构薄膜制备⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..碳氮纳米结构薄膜的制备及表征⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..引言⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..嫉D擅捉峁沟男蚊病...
第五章碳氮薄膜制备⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯...⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯第六章总结与展望⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯。后记⋯⋯⋯致谢参考文献⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯。引言⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯实验装置与薄膜制备⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..壤胱犹寮淼砘簅膜层表征与结果分析⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..邮ㄖ挤肿覲制备碳氮薄膜⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.本章小结⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.参考文献⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.邮ㄖ挤肿覲⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯。.壤胱邮砘椒ㄖ票柑嫉1∧ぁⅡ
一。另外,基团会提供相当比例的旷杂化态而不是踊笥矣Φ笔屎嫌诮细叩:壳依嗍对相关理论和材料应用产生了重要影响。另一方面,一维纳米结构材料,如纳米管、纳米锥/尖、纳米纤维等,尤其象碳、金刚石、等制成的相关纳米材料,因其独特的电学、力学、化学等特性引起了科学家的兴趣,特别是当具有稳定的结构并垂直基板有序排列时,非常适合制作场致电子发射器件,如场发射平板显示器、场发射扫描电镜的探针等,也是制作原子力显微镜探针、超级电容、气体压力传感器等的理想材料,引起了人们较多的研究主要包括如下三个方面:为了解等离子体源所产生的放电等离子体的性质,以及活性粒子和前驱物的掺入对薄膜沉积的影响,对碳氮薄膜制备所需的氮气,甲烷混合气体放电产生的等离子体的发射光谱进行了原位测量分析。在直流反常辉光放电团等,并且测量和讨论了它们相对于疦贡纫约八拥绯〖缘谋浠趋势。一个显著的现象是:在辉光放电时当甲烷被加入到纯氮气中后,氮相关粒子如或戎饕F紫咔慷人淙挥捎谟爰淄橄喙氐幕挪鶳碰谱线所取代,因为后者能级较低,需要相对较低的激活能,即使戎挥亦是如此。另一方面,缘于与甲烷所引入的基团,分子以及又间碰撞的增强,釉附近的谱线基本消失。另一个现象是:不论极性,大部分探测到的谱线包括、、!鱲的强度在在/之间变化相对有所趋缓,趋平或下陷,这应该是由于等离子体中相应于该处较高的电子能量的某种共振现象所致。此外,可以发现,在负极性时因为疦刃∮/逼逯屑淄楹坎蛔悖笥/时电子温度疦确段С鱿忠桓鯟实淖畲笾怠/的范围内产率较低,从而不利于高氮含量类富勒烯或类石墨薄膜的沉积,但却利于结晶性相对较好,类金刚石薄膜的沉积,例如是在沉积∧な钡贾滦纬衫嗍ɑ蚶喔焕障┙峁沟囊桓鲋匾R蛩亍U爰獾关注。本论文中,关于等离子体相关技术在纳米结构碳氮薄膜制备与表征方面的疦壤胱犹逯兄な荡嬖谡贾鞯嫉匚坏腃约鞍樗娌顲撞而在某种程度上得到增强,却被起源于基分子位于处的又下降的缘故,在上针尖负接时,疦仍结构∧さ暮铣伞A硪环矫妫鄙险爰庹邮保珻从捎诮细叩腅复旦大学博士学位论文’
的甲崩氮气混合气体中进行,在镀,中间层的虾铣闪薈极