z薄膜的微观组织结构表征.pdf

第 卷 第 期 浙 江 工 业 大 学 学 报 ．．
年 月 ．
脉 冲激光沉积 薄膜 的微观组织结构表征
杨 芳 儿 。沈 涛 ，郑 晓华 。郑晋翔 ，陈 占领
浙 江 工 业 大 学 机 械 工 程 学 院 ，浙 江 杭 州
摘 要 ：利 用脉 冲 激 光 烧 蚀 靶 ，在 室 温 至 ℃ 基 片 温 度 时 沉 积 薄 膜．利 用扫 描 电镜
、射 线衍射 、射 线 光 电子 谱 和 拉 曼 光谱 等 对 薄 膜 的表 面 形
貌 、化 学成 分 、结 晶性 以及价 键状 态进 行 了分析．结果 表 明 ：所得 薄膜呈 非 晶状 态 ，表 面形貌 与
沉 积温 度 密切 相 关 ，基 片温度 高于 ℃ 时薄膜表 面较 为 光滑．随 着基 片 温度 的增 加 ，薄膜 中—
键 的 面积分数 从 ． 逐 渐减 少至 ． ，— 。和 — 键 的 面积 分 数 随之 减 少 ，℃
时最利 于形 成 。键 ．光谱 中比值。／总体 呈上 升趋 势 ，峰 的位 置 向高波数 高频 方 向
移 动且 半 高宽 下 降 ，薄膜 由 薄膜 的无序 结 构逐 渐 向 高有序 化程 度 类石 墨 结构 转 变 ，
石 墨 化 程 度 增 加 ．
关键词 ：薄膜 ；氮化碳 ；射 线