扩散工艺说明(尚德).docx

编号：
时间：2021年x月x日
书山有路勤为径，学海无涯苦作舟
页码：第页 共9页
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SF
工艺说明
产品名称
单晶硅电池片
编号

产品图号

版号
01
工位名称
扩 散
工位编号
KS
需要人数
第1张共7张
流向
ZBKS
1. 目 的
确保单晶硅磷扩散工艺处于稳定受控状态
2. 适用范围
适用于单晶硅磷扩散工序
3. 责 任
本工艺说明由技术部负责
4. 内 容
工艺流程
按照设备点检表点检设备是否完好，符合运行条件。
升温
按照《扩散设备操作规程》进行升温。对于不常用的炉管，需先进行一次饱和。
装片、检验（见附页一）
打开传递窗，将片盒从传递窗拿出放到净化工作台里；
用舟叉将空石英舟端至净化工作台；
用石英真空吸笔将片盒内的硅片移至石英舟槽内，每槽2片；
在装片过程中，需检验硅片表面是否干净。若硅片两面都不干净，做返工片处理；若一面干净，一面不干净，则将干净面作为扩散面；
检查硅片是否有裂纹，若有裂纹作碎片处理。
上桨（见附页二）
用舟叉将石英舟平稳端出净化台，石英舟微微向上倾斜，约15°，端至碳化硅桨上，一边靠近匀流板约13cm。
扩散
按照《扩散设备操作规程》，开启设备，具备生产条件；
点击触摸屏上的“工艺运行”按钮，输入正确的工艺号,参照《扩散工序工艺参数表》，检查各工艺参数是否符合要求，点击“确认”按钮，运行扩散工艺。
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签 名
日 期
签 名
日 期
第1页
拟 制
审 核
共7页
标准化
批 准

旧底图总号
底 图 总 号
日 期 签 名

SF
工艺说明
产品名称
单晶硅电池片
编号

产品图号

版号
01
工位名称
扩 散
工位编号
KS
需要人数
第2张共7张
流向
ZBKS
方块电阻测量（见附页三）
扩散工艺运行完毕后，用舟叉将石英舟端至卸片台，按照从炉口到炉尾的方向依次均匀的取五片，放入片盒中，注意区分扩散面和非扩散面，扩散面一定要朝片盒的大面放置。
按照《四探针测试仪操作规程》测量方块电阻，测量硅片中心点和四个角的方块电阻值，测量四角方块电阻时注意探针