PECVD(光伏镀膜).docx

PECVD(光伏镀膜).docxPECVD简介
一
利用太阳能电池发电是解决能源问题和环境问 题的重要途径之一。目前，80%以上的太阳能电池 是由晶体硅材料制备而成的，制备高效率、低成 本的晶体硅太阳能电池对于大规模利用太阳能发 电有着十分重要的意义。镀膜(PECVD)是制备高效 晶体硅太阳能电池的重要步骤之一.
PECVD的定义、原理、作用
PECVD设备结构
>产生线性微波源的机理
PECVD的减反射作用（最佳光学匹配）
PECVD的钝化作用
PECVD对电性能影响
>异常处理规范
定义：
Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition
即“等离子增强型化学气相沉积”，是一种化 学气相沉积
原理：
PECVD是借助微波使含有薄膜组成原子（Si、N） 的气命电离，在局部形成等离子体，而等离子化 学活程很强，很容易发生反应，在基片上沉积出 崩崩望爾SixNy薄膜。
反应式如下：
SiH4 + NH3
——>SixNyHz
s i xNy之所以被广泛应用是因为它具有独特的 无可比拟的优点：
1•介电常数高，其值为8 F - m-1,而二氧化硅 F-m-1;
2•碱离子（如Na +）的阻挡能力强，并具有捕
获Na +的作用;
3. SixNy质硬耐磨，疏水性好，针孔密度低， 气体和水汽极难穿透；
4•减反射效果好, , 比二氧化硅(〃二1. 46)、二氧化钛(/? = 2・ 4)，是所 有已应用的介质膜中最符合太阳电池减反射层要 求的
5. PECVD法制备的SixNy薄膜同时为太阳电池提供
较为理想的表面和体钝化•二氧化硅只有表面钝 化作用，二氧化钛没有钝化作用
6 •能有效地提高电池效率，对多晶硅电池等低效率
电池作用尤其明显
PECVD设备结构
离子体源简图
Cooling Air
MW Radiation
Protection
MW Feedthrough
Cooling Air Tube-Adabtor
Shorting Plunger
Cu-Antenna
Water Cooling Circulation System *
MW2
MW Magnetron Head
MH 2000S-215BB
BNC-Diode
MW-Coaxial
Connector
LPS1
BNC-Cable
MW-Power Supply
MX 4000D-110LL
High Voltage
Connecting Cable
MW1
MW Magnetron Head
MH 2000S-215BB
MW1
MW-Power Supply
MX4000D-110LL