PECVD光伏镀膜.ppt

利用太阳能电池发电是解决能源问题和环境问题的重要途径之一。目前,80%以上的太阳能电池是由晶体硅材料制备而成的,制备高效率、低成本的晶体硅太阳能电池对于大规模利用太阳能发电有着十分重要的意义。镀膜(PECVD)、原理、作用PECVD对电性能影响PECVD的钝化作用PECVD设备结构异常处理规范产生线性微波源的机理PECVD的减反射作用(最佳光学匹配)2定义:PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition即“等离子增强型化学气相沉积”,是一种化学气相沉积原理:PECVD是借助微波使含有薄膜组成原子(Si、N)的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的SixNy薄膜。反应式如下:SiH4+NH3---->SixNyHzPECVD的定义、原理3PECVD作用:SixNy之所以被广泛应用是因为它具有独特的无可比拟的优点:,其值为8F·m-1,·m-1;(如Na+)的阻挡能力强,并具有捕获Na+的作用;,疏水性好,针孔密度低,气体和水汽极难穿透;,,比二氧化硅(n=)、二氧化钛(n=),,,对多晶硅电池等低效率电池作用尤其明显5PECVD设备结构等离子体源简图6微波组件的原理图7产生线性微波源的机理8由上图可以看到::等离子体电荷密度n(z):若只有左边微波源(P1)开启时,微波功率从输入端沿着石英管方向衰减;当只打开右边微波源(P2)时,同理9为什么左边偏薄调大右边微波功率?对于这个问题的第一种解释:左边的微波源有问题,不能正常工作,,:微波源与膜厚是左边(右边)对应左边(右边)关系,但实际使用的微波功率比较大,当大到一定程度时,改变某一边的功率对该侧膜厚影响较小,对对称的那一侧膜厚影响较大,