特种气体钢瓶更换.doc

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钢瓶更换程序 （sop）
（一 ）.目的：
使厂务人员对 Special Gas （特殊气体）之气体钢瓶更换程序能够充份了 解，维护Specialty Gas系统正常供应，以达到提高供气质量与保障人员安 全。
（二）.钢瓶更换程序：
1. 进入气体房前之检查：
a. 进入气体房前先从外面之监视器确认有无气体外漏情形及气体 房之含氧量。
b. 检查钢瓶之状态是否有异常现象。
2. 钢瓶换装前之检查：
a. 进入气体房钢瓶换装至少应由两人协助完成。
b. 确认气体室 ”维修中 ” 指示灯是否开启。
c. 检查钢瓶之状态，确认钢瓶空瓶边 （左或右）。
d. 检查欲更换之钢瓶上的空 /实瓶的指示标签。
e. 关闭欲更换之钢瓶盘面上的手动开关阀。
f. 确认各purge N2气瓶之压力值：
PH3之purge N2压力 >500 PSI
AsH3之 purge N2压力 >500 PSI
HCL之 purge N2压力 >500 PSI
DeTe之purge N2压力 > 1000PSI
Si2H6之 purge N2压力 > 1000 PSI
3. 将欲更换之钢瓶上的控制器操作模式 （位置参考附图二） ，操作至
Purge Mode 程序。
附图二：气瓶柜控制器示意图
旋钮转至 Purge Mode画面如下:
SELECT MODE OF OPERATION PRESS ENTER
（选择操作方法按ENTER）
PROCESS > PUGER V MANUAL OFF-LINE
（供应） > 吹净v （手动） （离线）
按 ENTER
ENTER SECURITY CODE
（请输入一个安全密码---
-）
xxxx
* PURGE MODE *
xxxx
（*吹净模式*）
输入1111
WARNING -VERIFY PANEL FOR PURGING
（警告---确认面盘准备吹净）
RESET=CANCEL ENTER=CONTINUE
（RESET=>消） （ENTER=继续）
按 ENTER
* PURGE SELECTION *
（吹净选择）
仁CYLINDER CHANGE 2=MAINTENANCE
（仁钢瓶更换） （2=维修）
CLOSE CYLINDER V ALVE
（关闭钢瓶阀门）
xxxx PRESS ENTER WHEN COMPLETE xxxx
（完成后按ENTER）
请确实关掉钢瓶阀，否则下面的动作将会抽掉钢瓶内所有的气体 ，按
ENTER
INITLAL VENTING
（开始排放）
xxxx PLEASE WAITING … xxxx
（请等待）
CYLINDER V ALVE LEAK TEST
（钢瓶接头做负压测漏）
xxxx PLEASE WAITING …600 xxxx
（请等待…600）
）
600表示还有600秒结束这项动作
PRE-PURGE CYCLE …PLEASE W AIT