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5.2场效应晶体管-MOSFET.ppt

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二、平衡状态下的 MOSFET 定性分析 N沟硅基 MOSFET 结构示意图 N沟 MOSFET 剖面图沟道电荷在体内靠近氧化层界面处的积累沿沟道的能带图 MOSFET 结构与能带图 0? DSV半导体表面的能带图 kT EECs fCeNn /)(???fs??2?阈值电压表面势各种类型半导体中的能带图增强型 NFET 增强型 PFET 耗尽型 NFET 耗尽型 PFET MOSFET 的示意符号源漏电压为零时的 NFET 垂直沟道的能带图和沿沟道的能带图 VOX :栅电压 VG 降落在 SiO2 绝缘层上的部分 VS :栅电压 VG 降落在半导体表面的部分 VFB :平带电压 th ox ox T GSVV????? kT EECs heNn /)(??? h BEEE?? kT ECs BeNn /?? S C Bn N kT E ln ??? pBgsEEq ????? 1 p?T GSVV?一定偏压下 NFET 垂直沟道的能带图和沿沟道的能带图 0? DSV

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