涂胶机操作规程
1 开机程序
A 开启总电源；
B 开启真空泵；
C 登录“PE”账户；
2、使用步骤
A选择“自动运行”，并进行设备复位；
B复位完成后点击“退出”，选择“配方编辑”;
C设置配方步数，并设置每一步时间、速度、加速度；
D保存配方，并下载，并点击 “退出”；
E选择“自动运行”，并放置基片；
F 基片表面覆盖光刻胶，并点击“启动”；
G 取下基片，完成基片涂胶；
3 关机程序
A 退出程序；
B 关闭总电源；
C 关闭真空泵；
4 注意事项
A 涂胶前确保真空泵处于开启状态；
B 基片需大于涂胶夹具外边缘；
C 定期清洗涂胶机腔体；
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