多晶检验流程.ppt

多晶检验流程
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目录






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一、硅
理化性质
灰色金属光泽，~，熔点1410℃；沸点2355℃。溶于氢氟酸和硝酸的混酸中，不溶于水、硝酸和盐酸。硬度介于锗和石英之间，室温下质脆，切割时易碎裂。加热至800℃以上有延展性，1300℃时显出明显变形。常温下不活泼，高温下与氧、氮、硫等反应。高温熔融状态下，具有较大的化学活泼性，几乎能与任何材料作用。具有半导体性质，是极为重要的优良半导体材料，是制造半导体的基础材料，但微量的杂质即可影响其导电性。
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工业制法
由干燥硅粉与干燥氯化氢气体在一定条件下氯化，再经冷凝、精馏、还原而得。
H2 + Cl2 = 2HCl
3HCl + Si = SiHCl3 + H2
SiCl4+ H2 = SiHCl3+ HCl
SiHCl3 + H2 = Si + 3HCl
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二、单晶硅
定义
晶核长成晶面取向相同的晶粒，这些晶粒结合起来，形成单晶硅
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单晶硅生产流程：
多晶硅料 选料 酸洗 水洗 烘干


封装 投料 单晶拉制 硅棒 截断

剖方 磨面 滚磨 腐蚀 粘棒 切片
脱胶 清洗 包装
检验
检验
检验
检验
检验
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单晶片常见缺陷
杂质、隐裂、微晶、超薄、超厚、台阶、崩边、线痕、孔洞、黑斑、TTV、尺寸偏差、裂片、缺角、硅晶脱落、翘曲度
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三、多晶硅
定义
晶核长成晶面取向不同的晶粒，这些晶粒结合起来，形成多晶硅
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多晶硅生产流程：
多晶硅料 选料 酸洗 水洗 烘干


封装 投料 铸锭 开方 切断

磨面 倒角 毛刷 粘棒 切片 脱胶
清洗 包装
检验
检验
检验
检验
检验
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硅锭编号规则：
A1
B2
B3
B4
A5
B6
C7
C8
C9
B10
B11
C12
C13
C14
B15
B16
C17
C18
C19
B20
A21
B22
B23
B24
A25
A1
A2
A3
A4
A5
B1
B2
B3
B4
B5
C1
C2
C3
C4
C5
D1
D2
D3
D4
D5
E1
E2
E3
E4
E5
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