库存掺镓硅片退火返工方案
拟制: 技术审核: 生产审核： 品管审核： 批准:
目标
-；-；-；-；氧施主片要明确标明，标称电阻率要与退火后的电阻率相符合。
方案
分类：从包装箱中挑选出A段、E段生产的硅片，不拆包，标识清楚，单独存放，不纳入此次返工。
分档与标示：库存B、C、D段生产的硅片，每一百片中前、中、后各抽一片，抽检比例3%，如果退火后抽检的硅片都在同一个档位，则该编号的其他硅片不用再退火，在包装箱上标明“氧施主片”和电阻率档位。如果抽检的硅片中有一片不能归于同一个档位的，则需要对该编号的所有硅片进行全部退火，退火后按照新的分档电阻率标准对硅片进行分档，包装箱上不用再标明“氧施主片”。
包装：B、C、D段产生的硅片需要单独包装，氧施主片和非氧施主片需要分开单独包装。
品管需加大抽检。
若有问题，及时反馈给您的上司和工程技术人员。
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