扫描电镜 Scanning Electron Microscope SEM 2013-04-18 主要内容??一、一、 SEM SEM 的结构、原理的结构、原理??二、二、 SEM SEM 的操作的操作??三、三、 SEM SEM 在高分子研究中的应用在高分子研究中的应用??四、仪器最新进展四、仪器最新进展??五、同类仪器比较五、同类仪器比较 S4800 冷场一、 SEM 的结构、原理?扫描电子显微镜由三大部分组成: 真空系统电子束系统成像系统 1、结构真空系统主要包括真空泵和真空柱两部分。真空柱是一个密封的柱形容器。真空泵用来在真空柱内产生真空。用真空主要原因: 电子束系统中的灯丝在普通大气中会迅速氧化而失效, 所以在使用 SEM 时需要用真空,或以纯氮气或惰性气体充满整个真空柱。为了增大电子的平均自由程,从而使得用于成像的电子更多。 ,主要用于产生一束能量分布极窄的、电子能量确定的电子束用以扫描成像。 。真空柱底端用于放置样品。 2、原理如果入射电子撞击样品表面原子的外层电子,把它激发出来,就形成低能量的二次电子, 在电场的作用下它可呈曲线运动,翻越障碍进入检测器,使表面凹凸的各个部分都能清晰成像。二次电子的强度主要与样品表面形貌有关。二次电子和背景散射电子共同用于扫描电镜(SEM) 的成像。当探针很细,分辨高时,基本收集的是二次电子而背景电子很少,称为二次电子成像(SEI) 二次电子◆◆◆
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