MicroLED显示器量化生产关键技术.pdf

电 子 工 业 专 用 设备
材料制造工艺与设备
Equipment for Electronic Products Manufacturing
Micro-LED 显示器量化生产
关键技术
蔡克新
( 中电科风华信息装备股份有限公司，山西 太原 030024 )
摘 要： 为快速推动 Micro-LED 显示器产业化发展，结合 Micro-LED 微显示器的性能特点、制造
工艺流程和产品应用优势，重点分析了基于硅 / 蓝宝石衬底的 GaN 外延生长技术、芯片侧壁原子
层沉积技术、芯片转移和晶圆级键合等技术。 通过显示产业材料、工艺设备、芯片制造、终端应用
全产业链的上下游协同创新，快速突破 Micro-LED 量化生产关键技术，必将提升 Micro-LED 的产
业化技术能力，带来新一轮显示技术升级换代。
关键词： 新型平板显示；微缩化发光二极管；有机化合物化学气相沉积；原子层淀积；晶圆键合
中图分类号： TN405 文献标志码： B 文章编号：1004-4507(2021)03-0029-06
Key Technology for Quantification Production of
Micro-LED Display
CAI Kexin
( CETC Fenghua Information-Equipment Co.，Ltd.，Tai Yuan 030024，China )
Abstract: In order to quickly promote the industrialization of micro-LED display development，
combined with the performance characteristics， manufacturing process and product application
advantages of micro-LED display，emp