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、高纯氮气、压缩空气、仪表气供应正常。
、PLC电源开关及各个主电源开关。
“自动/手动”转换开关切换到手动。
，机械臂所在位置与显示位置是否相同。
，确保所有信号正常，确认无故障及异常现象。
、三槽、四槽进行充水至满液位，检测高纯水纯度是否达到要求。
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，再按下“回原点”按钮，触摸屏上显示“OK”后将控制台上自动/手动转换开关切换到自动状态，再点击自动启动按钮，此时蜂鸣器鸣响三声，提示自动运行开始。
，上料门打开，清洗篮进入清洗设备内，开始进行硅芯清洗。
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，遇到异常情况及时停机检查。
，不然会引起自动停机。
，会有警报声，及时将清洗篮从下料台上抬下来可消除警报声。
，温度过高时及时开启制冷机进行制冷。
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，把画面切入系统启动画面，触摸“自动停止”按钮。
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“自动/手动”转换开关切换到手动状态。
，可再进行自动状态。
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，将“自动/手动”转换开关切换到手动状态。
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硅芯清洗机操作规程 来自淘豆网m.daumloan.com转载请标明出处.
