纳米三坐标测量仪(轮廓仪、形貌仪).doc

纳米三坐标测量仪(轮廓仪、形貌仪).doc・ 3D Nanofinger 1 ・ tHERMAZhWl到
北京汇德佶科技有隈公司
・ 3D Nanofinger 1 ・ tHERMAZhWl到
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纳米三坐标测量仪（轮廓仪、形貌仪）
Klocke Nanotechnik T
・ 3D Nanofinger 1 ・ tHERMAZhWl到
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■七
徳国Klocke公司的Nanofinger是一种兼H•原子赧级分辨率和厢米级线性行程的纳米定位与测 最系统，系统测鼠范阳人，」I.!Rj极高的空间三维梢度。可在50nmi x 50nmi x20nmi的空间范阳内 实现分辨率Inni的三維坐标测量，跨越8个数量级。
该设备的除涵盖一般轮廓、形貌测杲设备的功能外，最窠出的特点是可以进行三维高精度坐标 测晟，这是其他设备无法做到的。与普通的三坐标测晟和比，该设备的测磺桔度、分辨率耍裔出儿 个数量级。
系统组成与测量原理：
格个3D Nanofinger系统由台 架、控制系统、探头、针尖组成。
系统控制单元控制探头沿样 ■粗糙度、 尺寸。操作者可根据需耍设定参 ，选择、制 泄口（2的测试模式，以使测最长 度、速度、路径、分辨率达到最优 化。
系统的数据处理能力非常强. 可得到多种参数,包括形貌、粗糙 度、坐标尺寸等。 动控制能力，町以和超精密微加 工、微组装系统组合，例如为微加 匸系统提供在线检测，以随时控制
・ 3D Nanofinger 1 ・ tHERMAZhWl到
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加工质量。
彊程为50X50X20iuin3的系统，带仃热补偿的人理石台架。
卜图显不『探头安装的两种方式：垂直或水半安装
・ 3D Nanofinger 2 ・ GERMAZ 丁 EDI
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Mepsure/nem Principle
of Une Scans
Approach
Coniod moment
Remove tip
Move nldc with
Mtn 1 nm
Store Poaiilon N
to
predefined
increment
predefined
increment
Measurement Principie
of Circle Scans
J Move In contact
f Mev« 6<4e( CMtdef
Algorithm rums dlrectton
Nanofingei探头是完成测吊匸作 的主耍部件，其核心为一个MEMS器 件。通过它准确测量针尖和样品间的 J： 101U11时，MEMS器件监测到针尖 I：。 据此前预设的信兮/高度参数标定高度 值。
左图清晰、直观地显示了整个测 崑过程。
探针以出发点为测磺原点，接近 样品
当到达预设定的高度停止。记录 坐标位置
系统自动退针到预定高度停止。
根据设定的测吊规则横向移动到 下一测量点,开始测量。
整个过程由计算机控制完成。
图中Contact的意思是到达预先设 定的高度，而非接触到样品表面。整 的间距（一般为5nm）,为非接触测民
针尖：
3DNanoFingei的针尖架可装不同微探针。针尖的种类多样，从尖锐的线针尖（针尖尖端半径可 达50nm的）到球熨头各异，用户可根据检测冃的和应用范闱不同进行选择。
通帘细线状针尖町以诛入到人深宽比微结构的内部，以纳米粘度测彊农而的粗糙度、轮廓、尺 寸找至整个区域的