微米尺度膜厚薄膜热电偶传感器的研制.pdf

Preparation of the Thermocouple Sensor with
Micron Scale Film Thickness

By
Yunchenming Wu



A Dissertation Submitted to
China Jiliang University
In partial fulfillment of the requirement
For the degree of
Master of Engineering




China Jiliang University
March, 2014
中图分类号 学校代码 10356
UDC 681 密级 公开


硕 士 学 位 论 文
MASTER DISSERTATION

微米尺度膜厚薄膜热电偶传感器的研制

Preparation of the Thermocouple Sensor with
Micron Scale Film Thickness



作 者 邬云晨明 专业领域 仪器仪表工程
校内导师 叶树亮 教授 校外导师 陈丹超 高级工程师
申请学位 工学硕士 论文类型 应用研究

二〇一四年三月
致 谢
我衷心的感谢我的校内导师叶树亮教授以及我的校外导师陈丹超副教授。
在我攻读硕士学位期间，无论是学习还是生活，两位老师都给予了我无私的关
心和帮助。两位老师渊博的学识，严谨的治学态度，对待科研教育认真负责、
创新的态度，必将影响我终身，永远激励着我不断前进。导师的言传身教使我
终身受益，在此再次表达我对我的两位导师的敬意和谢意，并致以最诚挚的祝
愿。
在课题研究过程中，杨遂军老师的指导与帮助让我收获很大，不仅体现在
研究方法，也表现在为人处事当中，在此向杨老师表示衷心的感谢和诚挚的敬
意。
在研究生期间，感谢侯德鑫、邱建、张炜等老师在学业上对我的指导帮助
以及在生活中对我的关心和爱护，在此表示衷心的感谢，祝愿他们身体健康、
事业有成！
在论文研究和论文撰写的过程中，还得到了实验室傅琳、杨恒、杨娜、陈
磊侃、曾颖、安晨、祁漫宇等研究生的建议与帮助，我在此对他们表示衷心的
感谢，祝愿他们学业有成！
感谢所有关心、帮助过我的老师、同学、朋友们，陪我度过了人生中一段
十分重要和美好的时期。
最后，我还要感谢我的家人，感谢他们二十多年来养育和教育，以及求学
路上对我的鼎力支持和无私帮助，使我能专心科研并顺利完成学业，他们的支
持是支撑我无畏无惧的力量源泉，他们对我的殷切期望是我提醒自己不断进步
的精神支柱，谢谢你们。




邬云晨明