基于太赫兹超材料的微流体折射率传感器.pdf

第 ４１ 卷 ，第 ４ 期 光 谱 学 与 光 谱 分 析 . ４１ ， . ４ ， １０３９‐１０４３
２ ０ ２ １ 年 ４ 月 Vol No pp ，２０２１
Spectroscopy and Spectral Analysis April
基于太赫兹超材料的微流体折射率传感器
谢明真１ ，张 阳２ ，府伟灵２ ﹡ ，何津春１ ，３ ﹡
１ ．兰州大学第一临床医学院 ，甘肃 兰州 ７３００００
２ ．陆军军医大学第一附属医院（西南医院） ，陆军军医大学（第三军医大学） ，重庆 ４０００３８
３ ．兰州大学第一医院 ，甘肃 兰州 ７３００００
摘 要 太赫兹生物医学是目前光谱研究领域的热点 ，其主要难点在于如何有效避免水分的干扰 ，进行液
相环境下样本的灵敏分析与检测 。超材料太赫兹传感器由于具有高灵敏 、快速检测 、痕量分析等优势 ，而成
为太赫兹生物医学传感领域的重要研究方法 。设计加工了一种基于单开口谐振环超材料的太赫兹液相传感
芯片 ，为了有效克服水对太赫兹波的强烈吸收 ，利用微纳加工技术刻蚀深度为 ５０ μ 的流体通道 。传感芯片
m
整合了超材料基底与 流道 ，在 频段有两个位于 和 的谐振峰 。以水 、无水乙醇
PDMS T Hz