无尘室管理规定.doc

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目     录
 无尘车间管理的目的
 无尘车间管理的原那么
 适用围
 术语
 管理程序
5．1   无尘室施工管理制度
5．2   无尘室干净度定期检测制度/测量标准
5．3   无尘室人员管理制度
5．4   无尘室干净服管理制度
5．5   无尘室物流/干净室设备及工器具管理制度
5．6   无尘室清洁、清扫和灭菌管理
5．7   无尘室干净室平安管理
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1．0 无尘车间管理的目的
半导体产品生产过程对车间有明确的干净要求，为了满足生产工艺需要、保证产品质量、平安生产，必须对干净室的环境、人员、物料、设备、生产过程等进展控制。
2．0 无尘车间管理的原那么
进入干净室的管理，包括对干净室工作人员进入、物料进入、各类设备的搬入以及相关的设备、管线的维护管理，应做到不得将微粒、微生物带入干净室。
操作管理技术，对干净室人员用干净工作服的制作、穿着和清洗；操作人员的移动和动作；室设备及装修材料的选择和清扫、灭茵等，尽可能地减少、防止干净室尘粒、微生物的产生、滞留、繁殖等。
严格各类设备、设施的维护管理，制定相应的操作规程，保证各类设备、设施按要求正常运转，包括净化空调系统、各类水气电系统、生产工艺设备和工器具(工装夹具)等。以确保产品生产工艺要求和空气干净度等级。
清扫、灭菌管理，对干净室的各类设备、设施的清扫、灭茵以及方法、周期和检查作明确的规定，防止、捎除干净室尘粒、微生物的产生、滞留、繁殖。
干净室环境控制的容包括：空气净化、干净建筑、与产品直接接触的水或气体或化学品和生产设备、工器具等的污染物控制以及微振动、噪声、静电的控制、防止等。
3．0 适用围 
半导体公司所有干净生产区及干净辅助间(包括人员净化用室、物料净化用室和相关生活用室等)、车间管理区(包括局部办公、值班、管理和体息室等)和将来新建、改建、扩建的干净厂房及其辅助用房。
4．0 术语
干净生产区  是干净厂房的主要局部，对干净级别有明确规定的区域。
干净辅助间  是干净厂房不可缺少的必备房间。干净辅助间对干净厂房的平面关系密切，对干净厂房的建造带来影响和投产后能否满足产品生产的需要以及能否可靠地防止生产过程的污染或穿插污染至关重要。
管理区      是干净厂房的产品生产过程的生产管理、技术管理用房和必要的操作人员的休息、福利用房。
设备区      即净化空调系统、公用动力系统等用房，是干净厂房的重要组成局部。
5．0 管理程序
5．1 无尘车间干净室施工管理制度
5．1．1 背景
5．1．1．1 半导体制造业必须在干净的环境中进展，在施工中必须遵循行业规那么和程序。本文件列出了这些规那么和程序的概要。为了保证工程的成功，现场的每一位人员都必须遵守。
5．1．1．2 图纸上对于施工的干净建立草案将被强制执行。这包括除了原料和成品仓库以外的所有主厂房的地方。
5．1．1．3 干净室施工管理制度目前主要针对一期主厂房的局部改造和扩建，后期所有干净室施工工程仍按照本制度规定的原那么进展管理。
5．1．2 责任与义务
5．1．2．1 所有承包商有责任确保他们的工人都了解这些规那么和程序，并且在他们疏于遵从或违反时给予培训和训练。被分配到干净建立区域的每位工人有责任和义务理解并遵守干净建立规那么和程序。
5．1．2．2 承包商负责执行干