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电池培训太阳电池制造太阳电池制造————制造过程、工艺及卫生制造过程、工艺及卫生太阳电池制造过程(流程图) 硅片装盒超声波清洗去除硅片损伤层和形成绒面* 甩干磷扩散形成 p-n 结*等离子体边缘腐蚀腐蚀表面磷硅玻璃甩干 PECVD 沉积 SiN * 印刷背面电极烘干印刷铝背场烘干印刷正面电极烧结*测试包装带有*的为关键工艺,需对结果进行测量,必须满足设计值。太阳电池制造过程(一) ?硅片装盒?超声波清洗?硅片腐蚀去除硅片损伤层(和形成绒面) ?硅片甩干单晶制绒的原理: ?热的 NaOH 溶液去除硅片表面机械损伤层:〔硅酸钠起增加硅片表面成核密度和减缓反应的作用,异丙醇起带走因反应粘附在硅片表面的气泡的作用并产生氢气〕?反应方程式: Si+2NaOH+H 2 O=Na 2 SiO 3 +2H 2↑单晶制绒的原理: ? HF 去除硅片表面氧化层;去除硅片表面残余碱: ? HCl 去除硅片表面金属杂质: ?盐酸具有酸和络合剂的双重作用,氯离子能与 Pt 2+ 、 Au 3+ 、? Ag + 、 Cu + 、 Cd 2+ 、 Hg 2+ 等金属离子形成可溶于水的络合物。?? OH2 SiF H HF 6 SiO 262 2???单晶制绒的原理: ?单晶绒面的大小跟四个因素有关:氢氧化钠的浓度, 异丙醇的多少,温度的高低和反应时间的长短来决定。当绒面不理想时,我们可以改变其中的一个量其余三个不变来调节,最常用的是改变氢氧化钠和时间来调节。在制绒过程中一定要用显微镜看绒面,称重和测减薄量。单晶的各种形貌?单晶原始形貌( 500 倍) ?单晶绒面(500 倍) ?单晶绒面( SEM ) ?单晶粗抛( 500 倍) 多晶制绒原理? 1)GrO 3 +HF 酸在6、7、8、9线的配液浓度: ?1#槽 GrO3 1800 克 HF 40 升?2#、3#槽 GrO3 1200 克 HF 60 升? 6# HCL 56 升?每槽 10分钟,温度 20度补液 2000 克 GrO 3 +4 升纯水?时间 4—16秒减薄 — 克?反应化学式为: 2GrO 3 +Si → Gr 2O 3 +SiO 2 ? SiO 2 +HF →H 2 [SiF 6 ]+2H 2O 多晶绒面多晶的形貌?多晶绒面( SEM )