制备扫描近场光学显微镜光纤探针的自动化腐蚀方法.pdf

第 卷 第 期 光 子 学 报 ．．
年 月 ；第 二类 ，探 针作 为在 近场收集 光信 号 的收� 微 探针 ，该方 法 可 以获得 较 高 重 复性 的单 锥体 角 光�
集模 式 ；第 三 类 ，探 针 同时 起 照 明 和 收集 作 用 的 照� 纤探针 ，但 是制作 多锥 体角 光纤探针 时 ，由于变换 阀�
明／收集模 式．扫 描近 场 光 学显 微 镜 主要 的 工 作 方� 门受人 为 因素影 响 ，所 以其 重 复 性 相对 较 差．因此 ，�
式 是利用探 针在 近场范 围 内获 取物体 表面 附近反 映� 制备尖 端锐 利 、大 锥 角 或多 锥 体 角 的探 针 并提 高 制�
精 细结构 的非辐 射光 学 信 息 ，再 把 这 些 信息 组 合 成� 备探 针 的 重 复 性 是 近 场 光 学 显 微 镜 探 针 研 究 的�
光 学图像 ，其 所得 图像 的质 量取 决 于 光纤 探 针 的结� 重点．�
构 和对 尖 端与 样 品之 间距 离 的控 制¨��．尖端 孔 径 的� 本 文基 于静 动结合 的化 学腐蚀 法提 出了一 种 自�
大小 、光传输 的效率 以及 探针制 作 的重 复性 ，是光纤� 动化化 学腐蚀 方 案．该方 案 考 虑 了腐 蚀 过 程 中影 响�
探 针最重要 的技术 指 标 ．其 中探 针 尖 端 的锥 角 在很� 探针结 构 的主要 因 素 ，提供 了具 有较 大 选 择范 围的�
大程 度上决定 了探 针的光 传输性 能 ，锥 角越大 ，传输� 探 针制作 实验 条件 ，以获 得不 同结构 的光纤 探针 ，满�
率越 高 ，且 理 论 计 算 和 实 验 均 已证 明 针 尖 锥 角 在� 足不 同应 用 的需要 ．同 时最 大 程度 的减 少 了人 为 因�
��。～ ��。之 问 就 可获 得 理 想 的光 传 输 率��．除 了锥� 素的 干预 ，保 证 了在 同一 实 验 条件 下 获得 高重 复性�
体 角 ，尖端 的锥形轮 廓也很 重要 ，如双锥 角尖端 和三� 的 探 针 ．�
锥 角尖端都 提高 了探针 中光 的传 输率� �．至今 许 多�