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2006 年 5 月 Journal of A pp lied Op tics M ay, 2006 文章编号: 1002 2082 (2006) 03 0254 04 M athCAD 在椭圆偏振仪测定 2 2 薄膜光学常数中的应用2 2 2 王学华1, 薛亦渝2, 曹宏1 (1. 武汉化工学院材料科学与工程学院, 武汉 430073; 2. 武汉理工大学材料科学与工程学院, 武汉 430070) 摘要: 薄膜光学常数决定薄膜的光学性能。通过对椭圆偏振仪测试原理的分析, 得到求解薄膜 光学常数超越方程的数值算法简化公式, 并利用M athCAD 的“So lve B lock”模块开发了基于 W indow s 系统的椭圆偏振测量薄膜光学常数的计算程序, 该程序可用于单层有吸收薄膜或无吸 收薄膜折射率和厚度的计算。实际应用结果表明, 该计算具有数值准确、精度高、运算速度快、适应 性好, 对系统无特殊要求等优点, 可用于薄膜制备过程的在线检测。 关键词: 椭圆偏振仪; 薄膜光学常数; 薄膜折射率; 薄膜厚度;M athCAD 中图分类号: T P391. 72; O 484. 5 文献标志码: A M athCAD applied to testing of the optical con stan ts for th in f ilm s w ith ellipsometer W AN G Xue hua1, XU E Y i yu 2, CAO Hong1 (1. Schoo l of M aterials Science & Engineering of W uhan Institute of Chem ical T echno logy, W uhan 430073, Ch ina; 2. Schoo l of M aterials Science & Engineering of W uhan U niversity of T echno logy, W uhan 430070, Ch ina) Abstract: T he op tical con stan ts of th in film are decisive facto rs fo r its op tical p roperties. A sim p lified num eric algo rithm exp ression fo r so lving tran scenden tal equation of op tical con stan ts w as ob tained by analyzing the test p rinciple of ellipsom eter. A M icro soft W indow s based calcu lating p rogram fo r op tical con stan ts of th in film s w ith“So lve B lock ”modu
