蚀刻线岗位操作指引规范.doc

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1次/班
热风吹干
温 度
50-70℃
65℃
蚀刻
〔1200L〕
铜离子
120-150 g/L
130 g/L
1次/班
盐 酸
- N
N
1次/班
上压力
- kg/cm2
1..6 kg/cm2
频率显示
1次/班
下压力
- kg/cm2
kg/cm2
温 度
49-54℃
52℃
单面板： OZ
- m/min
2. 2 m/min
注：此参数只供做首板参考,每批生产板必须先做首板,待首板OK后,再批量生产，批量生产时必须有专人检验板。
单面板： OZ
- m/min
1..3 m/min
双面板： OZ
1..3 m/min
- m/min
1..2 m/min
0. 3 m / m i n
蚀 刻
〔1200L〕
〔已加厚10-20um〕
- m/min
m/min
注：速度计算公式： 蚀刻 脱 膜计算方法
〔已加厚10-20um〕
- m/min
m/min
- m/min
m/min
注：此参数只供做首板参考,每批生产板必须先做首板,待首板OK后,再批量生产，量产时，每30pnl测试1次。
- m/min
m/min
压力水洗
压 力
- kg/cm2
kg/cm2
1次/班
去 膜〔600+600〕L
氢氧化钠
3-5%
4%
25kg
1次/4天
1次/班
上压力
- kg/cm2
kg/cm2
下压力
- kg/cm2
kg/cm2
消泡剂
-%
%
温 度
50-60℃
55℃
速 度
- m/min
m/min
压力水洗
压 力
- kg/cm2
kg/cm2
1次/班
钝 化
H2SO4
1-3%
2%
60L
1次/3天
1次/班
压 力
- kg/cm2
kg/cm2
压力水洗
压 力
- kg/cm2
kg/cm2
1次/班
热风干
温度
75-100℃
85℃
棉 芯
20/5-10um
20”/10um
1次/周
蚀刻线岗位操作标准
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