扩散炉安装说明书.docx

扩散炉
安装调试说明书
中联科利
2009年2月
目录
（2）设备的标识⑵设备的安装⑵1机械安装⑵（2）（3）2电气安装（3）（3）（4），再接好各柜之间的相互连线。
在各炉体侧壁上装入控温及保护热电偶，接好热电偶补偿导线。注意应保持各热电偶的前端只高出炉丝1m"右，伸出太多在拆装石英管时容易碰断。
用摇表检测设备总进线火线对设备外壳的绝缘电阻应在5MQ以上。
仔细检查炉体、可控硅、变压器、转接端头的压接螺钉，应无松动现象。
确认各部分连接无误后，接好电源总进线（要求总进线为三相3807+＜线+地线），注意火线、零线及地线的位置，不可接错。
逐柜、逐层上电，检查各部件上电情况，注意检查机壳是否带电。
控制柜及气源柜上电，检查计算机、温控仪、温度保护仪、各控制开关、指示灯、电磁阀、质量流量控制器等是否正常。在计算机手动操作屏上逐一试验，看对各器件的控制是否正确无误。
推舟净化机构中，逐一检查照明、排风及净化送风是否正常。配合计算机检查自动进出舟、行程限位是否正确以及舟速是否可调。
查可控硅散热风扇及水冷散热器排热风扇等工作是否正常。
根据用户使用温度要求设置好温控仪各参数。
按下炉体加热“开”按钮，炉子开始升温，观察温控仪温度显示情况及功率部件、炉体等有无异常，尤其要仔细检查炉体的引出接头及引线是否与炉壳、机壳短路（使用中要长期留心注意，因高温下，接头与瓷件易产生变形位移）。
根据合同技术指标的要求，测试设备的包温区。
，两人抬取石英管时，每人负责看管一端，负责尾部者严禁直接用手抬尾气管，以免该管发生断裂，抬石英管时将石英管尾部的三根小管朝向净化台外侧，待石英管放进炉膛后转动石英管直至石英管内三个固定圈朝下，用卷尺量好从不锈钢盖板至石英管口的距离。
把密封圈嵌入石英门密封槽中，密封圈应压紧压平。
将送片座上的波纹管前端的锁紧圈拧松（最好是不要拧下来）。
将装好密封圈的石英门安装在悬臂桨上，安装时要用力均匀，防止将石英门上的
圆筒与桨碰撞。
首先把桨夹座两边的四氟锁紧螺钉拧松，将装有石英门的悬:臂桨一起放入送片座
上的桨夹座中，把石英门上的圆筒伸至四氟波纹管中，拧紧锁紧螺母，注意拧紧
波纹管时石英门与桨的位置要垂直。
将石英匀流板放在悬臂桨最前端，进舟至匀流板位于管口位置，调节好桨的上下位置（桨的前后位置一般不会变动，用户可根据实际情况进行调节）使得匀流板基本处于石英管中心，调节时只需调节桨夹座后面的调节螺母。
边进舟边观察匀流板的位置，打开废气室侧壁的观察窗口，待进舟到最前端时检查石英门与石英管之间的位置，石英门与石英管之间是否完全密封，可在石英炉门与石英管口之间放一张薄纸，炉门关紧后纸张应抽不出来。同时，在石英门盖住石英管口后，调节压紧石英门的四氟波纹管及支撑石英门的弹簧使之有一定的
压缩量。
退舟，安装炉尾的保温棉圈及不锈钢盖板。
将尾气管、热电偶管从石英管尾部插入石英管中，安装时注意将热电偶管及尾气管从固定圈中通过。然后将热偶管盖盖住另一个管口，用不锈钢夹子夹好。
放入石英隔热