质量流量控制器技术说明书.pdf

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±(~) %
6 重复精度 ± %
7 响应时间 (1 ~ 10) sec
8 工作压差范围 ( ~ ) Mpa 10~30L(~) Mpa
9 耐压 3 Mpa ﹑ 10 Mpa
10 工作环境温度 5 ℃ ~ 45 ℃
11 材料 不锈钢 316L
12 标准密封材料 Viton ﹑ EPDM, 或其他
-9
13 漏率 ﹤ 2×10 He
14 接头 Ф 6mm, 1/4 ″ Swagelok, 1/4 ″ VCR, 或其他
0 V ~ + V
15 输入输出信号
(输入阻抗大于 100K, 输出电流不大于 3mA)
+15 V 50 mA
16 电源
-15V 200 mA
17 外形尺寸 mm 134×134×38
18 重量 kg
表 2. S49-33A/MT﹑ S49-33BM/MT型质量流量计技术指标编号 项 目 S49-33A/MT S49-33BM/MT
1 流量规格 ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM
( 0~1,2,3,5,10,15,20,30) SLM
2 准确度 ±1 % ±2 %
3 线性 ±(~) %
4 重复精度 ± %
5 响应时间 1~4 sec
6 气压降 < MPa
7 耐压 3 MPa﹑ 10 MPa
8 工作环境温度 5 ℃ ~ 45 ℃
11 材料 不锈钢 316L