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光学麦克风的制作方法
专利名称：光学麦克风的制作方法
技术领域：
本申请涉及一种接收在空气等气体中传播的声波，并利用光波将所接收到的声波变换成电信号的光学麦克风。
背景技术：
一直以来，麦克风作为接收声波并变换成电信号的装置为人所表示在图IA所示的光学麦克风中使用反相镜作为反射部的例子的图。图6是表示图IA所示的光学麦克风中的衍射光波的位置关系的图。图7是表示在图IA所示的光学麦克风中，使光电变换部相对于O次衍射光移动而配置的例子的图。图8是表示在图IA所示的光学麦克风中，阻挡O次衍射光波，使光电变换部接收
衍射光波的例子的图。
图9是表示在图1A所示的光学麦克风中，在光电变换部的光接收面上配置具有使光发散的功能的光接收透镜系统的例子的图。图10是表示在图1A所示的光学麦克风中，在光电变换部的光接收面上配置具有放大率分布的光接收透镜系统的例子的图。图11是表示在图1A所示的光学麦克风中，在光波的入射路径生成的衍射光波的图。图12是表示在图1A所示的光学麦克风中，在光波的反射路径生成或观测到的衍射光波的图。图13是表示O次衍射光波和I次衍射光波进行干涉的情况下的位置关系的图。图14(a)到(C)分别是表示在图1A所示的光学麦克风中，入射的声波、在光电检测部检测的光波、从光电检测部输出的电信号和从频率变换部输出的电信号的波形的图，且是表示在光波中包含大小不同的直流分量的情况下的波形的图。图15是表不本发明的光学麦克风的第二实施方式的构成的图。图16(a)到⑷是表示在图15所示的光学麦克风中，当光波透过传播介质部时生成衍射光波的情况的图。图17是说明图15所示的光学麦克风的入射路径中的衍射光波的产生的图。图18是表不图15所不的光学麦克风的反射部的反射的情况的图。图19是说明图15所示的光学麦克风的反射路径中的衍射光波的产生的图。图20是表示由分束器反射的衍射光波的位置关系的图。图21是表示光电变换元件阵列的光接收面上的衍射光波的位置关系的图。图22(a)以及(b)是表不声波的传播方向和光波的衍射方向的关系的图。图23是表示声波的传播方向受到限制的传播介质部的图。图24是表不本发明的光学麦克风的第三实施方式的构成的图。图25是表不本发明的光学麦克风的第三实施方式的其他构成的图。图26(a)是表不本发明的光学麦克风的第四实施方式的构成的图；(b)是表不光电变换元件阵列的其他方式的示意图。图27是说明使用第四实施方式的光学麦克风的音源定位的图。图28是表示本发明的探伤装置的实施方式的构成的图。图29是表不以往的光学麦克风的构成的概略图。图30是表示以往的其他光学麦克风的构成的图。
具体实施例方式本申请公开的光学麦克风是使用光波来检测在环境流体中传播的声波的光学麦克风，具有:传播上述声波的传播介质部；光源，射出横穿在上述传播介质部中传播的上述声波并透过上述传播介质部的光波；反射部，使透过上述传播介质部的光波进行回复反射；以及光电变换部，接收由上述反射部反射且透过上述传播介质部的上述光波，并输出电信号，在从上述光源射出的上述光波透过上述传播介质部的入射路径中，根据伴随着上述声波的传播而产生的上述传播介质部的折射率分布，分别生成O次衍射光波、+1次衍射光波以及-1次衍射光波，在上述入射路径中所生成的上述O次衍射光波通过上述反射部的反射而透过上述传播介