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检测电路的制作方法
检测电路的制作方法
一种检测电路。藉由振荡器来产生对应微机电系统的等效电容值变化的检测讯号，其中微机电系统的等效电容值随微机电系统的位置不同而变化。
【专利说明】检测电路
【技术领域】
[0001]本发明涉0032]0P1:操作放大器
[0033]VCC:操作电压
[0034]VR:参考电压
【具体实施方式】
[0035]图1示出了本发明一实施例的检测电路的方块图。请参照图1，检测电路100用以检测一微机电系统的位移位置，其可包括振荡器102、锁相回路单元104、低通滤波单元106以及放大单元108。其中振荡器102的输入端耦接至微机电系统，在图1中，电容Ml表示微机电系统的等效电容，振荡器102依据微机电系统的等效电容值来产生振荡讯号S01,此振荡讯号SOI为一频率调变讯号。当微机电系统被驱动讯号SD1驱动而开始运作时，微机电系统的电容值将随着其位置的不同而改变，举例来说，若微机电系统为一马达，微机电系统的电容值将会随马达转动的角度不同而有所变化，相反地，若微机电系统的电容值未产生变化，即代表微机电系统停止转动，因此藉由电容值的变化便可得知微机电系统的位置状态。
[0036]锁相回路单元104用以对振荡器102输出的振荡讯号S01进行锁相，进而输出一锁相后的锁相控制讯号S02。低通滤波单元106用以对锁相控制讯号S02进行低通滤波，以减低高频杂讯，产生一滤波讯号SF1。放大单元108则用以放大滤除高频杂讯后的滤波讯号SF1,以产生一检测讯号S1。如此一来，由检测讯号S1的电压变化即可知道微机电系统的确切位置。
[0037]图2示出了图1的检测电路的电路示意图。详细来说，上述检测电路100的实施方式可如图2所示，振荡器102可包括阻隔电容C1、反相单元A1、低通滤波单元202、回授电阻R1以及缓冲单元B1。其中阻隔电容C1耦接反相单元A1的输入端，低通滤波单元202耦接于反相单元A1的输入端与输出端之间，回授电阻R1耦接于反相单元A1的输入端与输出端之间，缓冲单元B1则耦接于反相单元A1的输出端与锁相回路单元104之间。在本实施例中，低通滤波单元202可如图2所示，包括电感L1、电阻R2以及电容C2，其中电阻R2以及电容C2串接于反相单元A1的输出端与接地之间，电感L1则耦接于反相单元A1的输入端与电阻R2以及电容C2的共同接点之间。
[0038]当微机电系统被驱动讯号SD1驱动而开始运作时，微机电系统的等效电容Ml将随微机电系统的位置变化而改变，因此微机电系统的等效电容Ml上的电容电压亦将随微机电系统的位置不同而产生变化，此电容电压可经由阻隔电容C1滤除直流成分后，被输入至反相单元A1的输入端与电感L1、电阻R2以及电容C2所组成的低通滤波单元202。其中输入至反相单元A1的电容电压被反相并藉由回授电阻R1被回授至反相单元A1的输入端，并藉由电感L1、电阻R2以及电容C2开始进行振荡，此外，电感L1、电阻R2以及电容C2所组成的低通滤波单元202亦具有滤除高频杂讯的功能。缓冲单元B1对反相单元A1所输出的电压讯号进行缓冲，以输出振荡讯号S01，由于微机电系统的运动会改变等效电容Ml的电容值，因此振荡讯号S01的振荡频率会随的改变。
[0039]值得注意的是，振荡器102的