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振动限位开关的制作方法
振动限位开关的制作方法
一种振动限位开关(10)，其具有能被设置为振动的膜(1)以及用于将所述膜(1)设置为振动和/或检测所述膜(1)的振动的驱动单元(100)，其中所述驱动单元(100)包括至少一个电磁驱动器(用于使用电磁驱动器时，将张紧螺栓设 置于膜上则是有利的。另一方面，可使用这种张紧螺栓以对用作驱动器的压电元件相对膜 施加应力，且另一方面，其可用于经张紧螺栓将电磁驱动器的振动耦合至膜。在这里，特别 优选的是，电磁驱动器位于张紧螺栓的后部上面且优选以固定的方式，例如旋紧或焊接至 其上。
[0019] 当把电磁驱动器旋紧至张紧螺栓以使其对压电驱动器相对于该膜施加应力时，可 实现特别有利的机械设计。这样，则可免除原本需要的张紧装置，例如用于压电驱动器的张 紧螺钉。
[0020] 例如，也可使用电磁驱动器以调整压电驱动器的预应力至给定的工艺参数。为这 个目的，能以静态或动态的方式产生在压电驱动器上的力。
[0021] 可替代地，压电驱动器可能并不被具体化为预应力堆叠，但是被具体化为贴附至 膜的压电元件。
[0022] 此外，可将张紧螺栓至少部分地具体化和设置为电磁驱动器的线圈的芯。这样， 通过将张紧螺栓用作线圈的芯，可实现在该张紧螺栓上直接传输在电磁驱动器中产生的振 动。
[0023] 为此目的，优选地，将张紧螺栓连接和固定至电磁驱动器的线圈容纳器或磁铁容 纳器，其中，优选地，线圈或磁铁容纳器被具体化为用于压电驱动器的张紧螺钉。
[0024] 为此，在这里，压电驱动器可被优选地具体化为多个以堆叠方式设置的表现为环 形的压电元件，其设置适于增加产生的振幅。
[0025] 可替代地，压电驱动器可表现为环形的压电元件，其被贴附至膜上，从而无需对压 电驱动器施加预张紧。
[0026] 根据本发明的一种用于操作上述振动限位开关的方法示出了下列步骤：
[0027]-将膜设置为振动
[0028] -检测产生的振动，可选择性地使用用于将膜设置为振动和/或检测所产生的振 动的电磁驱动器和/或压电驱动器进行所述检测。
[0029] 通过有选择地使用电磁驱动器或压电驱动器，能够增加振动限位开关应用的热和 机械范围。
[0030] 优选地，根据处理介质的粘性和/或温度选择要使用的驱动器，优选为在低温和/ 或低压条件下选择压电驱动器以及在高压和/或高温条件下选择感应驱动器。在该方法的 一个优选实施方式中，一个驱动器用于将膜设置为振动，且另一个驱动器用于检测所产生 的振动。这样，则能产生驱动器的冗余。
[0031] 附图简沭
[0032] 下面，将基于示例性实施方式方式并参照附图阐释本发明。其示出：
[0033] 图1为示出根据本发明的振动限位开关的第一个示例性实施方式的原理的图；以 及
[0034] 图2为根据本发明的振动限位开关的第二个示例性实施方式。
【具体实施方式】
[0035] 图1为根据本应用的振动限位开关10的第一个示例性实施方式的示意图。
[0036] 振动限位开关10显示有外壳15,其基本上表现为管状。驱动单元100被支撑在外 壳15中，其在本示例性实施方式中是从前面形成的，即面对设置在膜1上的压电驱动器20 和设置在后部的