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具有模块式构件构造的表面微结构测量仪器的制造方法
具有模块式构件构造的表面微结构测量仪器的制造方法
本实用新型涉及一种表面微结构测量仪器(10)，在该表面微结构测量仪器中所有功能重要的构件都作为可更换的模块(1、2、5、6、12)设置在[0013]这些单个的功能模块可以分别由单个构件构成。用于这种单个构件的例子是:小的具有电子部分功能的功能电路板，例如终端开关、引导板条、具有磁体的滑座、马达、连杆或电缆树。
[0014]按照一种优选的实施方案可以规定，各所述单个模块中的多个单个模块在测量仪器的使用位置中观察基本上上下重叠地设置。
[0015]优选地可以规定，除了第一单个模块之外，其余所有的单个模块在测量仪器的使用位置中观察都基本上上下重叠地设置。
[0016]优选地，所述第一单个模块可以是所述电子模块。
[0017]按照一种特别优选的实施例可以规定，在测量仪器的使用位置中观察，所述测量模块基本上设置在参考引导模块下方，该参考引导模块基本上设置在驱动模块下方，该驱动模块基本上设置在电子模块下方。
[0018]按照一种特别优选的实施方案可以规定，各所述单个模块能从壳体的唯一一侧(优选下侧)装配和拆卸。
[0019]优选地，所述壳体的下侧是壳体的这种侧面，即该侧面为了对测量物体表面的粗糙度或表面微结构轮廓进行测量或者在对测量物体表面的粗糙度或表面微结构轮廓进行测量期间从属于测量物体表面和/或与该测量物体表面相对而置。
[0020]按照一种设计方案可以规定，所述参考引导模块的参考引导载体具有优选两个、间隔开地并且彼此平行地设置的轮廓参考引导部，用于引导相对于轮廓参考引导部并且沿着参考引导载体的轮廓参考引导部可动的(特别是可移动的)所述测量系统载体，其中优选地各轮廓参考引导部分别由玻璃杆、特别是由杆状的玻璃长方体或者由杆状的玻璃圆柱体构成，并且所述测量系统载体借助滑板支承在轮廓参考引导部上。
[0021]所述优选两个轮廓参考引导部可以由杆状的玻璃杆、特别是由杆状的玻璃长方体或者由杆状的玻璃圆柱体构成。所述测量系统载体可以借助滑板支承在轮廓参考引导部或玻璃长方体上。保持力可以由集成在测量系统载体中的磁体产生，这些磁体优选总是或始终与至少一个铁磁性的、优选长方体形的轨道相对，该轨道设置得平行于参考引导部或轮廓参考引导部。
[0022]优选地，测量系统载体可以构成为车或滑座。
[0023]测量仪器可以装备有磨损测量系统，借助该磨损测量系统优选实时地能测定测量系统载体的滑板的磨损程度或者对该磨损程度进行测定。换言之，所述仪器可以具有磨损测量系统，利用该磨损测量系统优选实时地测定进给装置的滑动支脚的磨损程度。
[0024]按照一种有利的进一步改进方案可以规定，所述测量系统载体借助磁性保持力保持在参考引导载体上，这些磁性保持力由集成在测量系统载体中或上的磁体(优选永久磁体产生)和/或由集成在参考引导载体中或上的磁体(优选稀土-铁磁体)产生，这些磁体优选总是或者说持久地与至少一个铁磁性的、优选长方体形的轨道相对，该轨道设置得平行于轮廓参考引导部。优选地可以设有两个铁磁性的轨道。每个铁磁性的轨道可以从属于各轮廓参考引导部中的一个轮廓参考引导部和/或可以设置在各轮廓参考引导部中的一个轮廓参考引导部的附近。
[0025]所述参考引导模块可以包括优选用作