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位移量测量装置的制作方法
专利名称：位移量测量装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及，使用输出对应于可动体位移量的传感信号的位移传感器测量可动体位移量的位移量测量装置；特别是关于根据位移传感器的特性变化校正位移量测量装置的技术。
背装置在计算位移量的期间，上述位移量计算装置的上述计算方法依次被修正。其结果是，在测量动作继续的同时，能够始终维持测量的高精确度。没有必要中断进行修正的测量动作。
在适宜的实施方式中，上述定时装置，通过监视使上述可动体发生位移的原因要素的状态值、判断上述状态值是否在规定的标准状态值停留规定时间以上，从而判断上述可动体是否位于上述基准位置。由此，能够抓住可动体确实位于基准位置的时间，使修正的精确度变得更好。
在适宜的实施方式中，使用设定了各种传感信号值和各种位移量的对应关系的转换表，计算位移量。并且，上述修正装置，寻求与上述多个基准位置对应的取样值和上述转换表中设定的与上述多个基准位置对应的传感信号值之间的差异，使上述差异变小地修正上述转换表中设定的与上述各种位移量对应的上述各种传感信号值。由此，根据位移传感器的特性变化，能够在整个位移范围内修正转换表具有的转换特性(计算方法)。
图1是适用于依照本发明的位移量测量装置的一种实施方式的位移传感器的一个例子的剖面图。
图2是表示适用于位移传感器10和控制器100的简单油压系统的一个例子的电路图。
图3是表示控制器100的结构，尤其是，显示为使电磁比例控制阀300的线圈发生位移的控制，以及为了执行与该控制同时进行的第1位移传感器10A的长年变化的学习控制的结构的框图。
图4是表示控制器100进行学习控制的处理流程的流程图。
具体实施例方式
图1是适用于依照本发明的位移量测量装置的一种实施方式的位移传感器的一个例子的剖面图。图中，用斜线阴影表示的部件是磁性材料制成的部件。用空白表示的部件，除永久磁铁28以外，都是非磁性材料(例如，非磁性的不锈钢、塑料、橡胶等)制成的部件。
如图1所示，位移传感器10，具有传感器主体12和活塞14。传感器主体12，拥有前后开口的筒状主体外壳16，该筒状主体外壳16的尾端被主体帽18盖上。筒状主体外壳16和主体帽18都由磁性材料制成，构成传感器主体12的外壳，拥有从外部对传感器主体12的内部进行磁屏蔽的功能。
在筒状主体外壳16内，从前端开口侧插入并固定耐压套筒20。在耐压套筒20的外侧面的不同位置固定一个或者多个(该实施方式中是2个)磁感应元件，如霍尔IC34A、34B。由这些霍尔IC34A、34B输出的传感信号，通过信号电缆37传到传感器主体12的外部，输入拥有依照本发明的位移量测量装置功能的控制器100。
耐压套筒20前端有开口，在其内侧，拥有由耐压套筒20的壁围成的细长圆柱状，提供给活塞14的移动空间30。该位移传感器10的代表性用途是，比如，检测用于检测油压机械的流油量的差动线圈的位移量和用于移动油压传动装置的电磁比例控制阀的线圈的行程量；在该油压机械的用途中，耐压套筒20内侧的移动空间30装满了高压工作油，在耐压套筒20的壁上施加高油压。耐压套筒20由牢固的非磁性材料(例如，非磁性不锈钢)制成，拥有足够的强度经得住内侧空间30的高油压。
活塞14从耐压套筒20的前端开口插入移动空间30内。活塞14被设置在与移动