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一种探针卡装置制造方法
一种探针卡装置制造方法
一种探针卡装置，在探针卡上有一个具有内螺纹的定位孔，且射频识别卡内置于一个非导电性材质的包装结构中，该包装结构有与探针卡上的内螺纹相配合的外螺纹，且在该包装结构的一端有适合扳手作业的螺栓头其脱落的问题；所述包装结构的一端可以具有外 六角螺栓头结构或者内六角沉孔螺栓头结构，以方便射频识别卡的安装、调整和更换。
[0010] 优选地，所述非导电性材质指塑料材质或者木质材质。
[0011] 优选地，所述包装结构的所述外螺纹的长度不大于所述探针卡上的所述定位孔的 长度。
[0012] 优选地，所述探针卡上的所述定位孔的轴线垂直于所述探针卡的表面。
[0013] 优选地，所述探针卡的所述定位孔的至少1/3的长度上有内螺纹，其余长度上为 光孔结构。
[0014] 优选地，所述包装结构为全封闭结构，所述射频识别卡设于所述包装结构的中空 内部。
[0015] 优选地，所述包装结构为中空的螺钉或螺杆结构，所述射频识别卡设于所述螺钉 或螺杆结构的中空部。
[0016] 优选地，所述射频识别卡在所述包装结构的所述中空部中与所述包装结构之间为 紧配合关系。
[0017] 优选地，还包括堵头，所述堵头有外螺纹，所述包装结构的一端具有所述射频识别 卡的装入口结构，所述装入口结构具有与所述堵头的所述外螺纹相配合的内螺纹。
[0018] 此处设计的目的在于，所述包装结构的所述外螺纹的长度不大于所述探针卡上的 所述定位孔的长度，以避免所述包装结构在所述探针卡上有突出；所述探针卡上的所述定 位孔的轴线垂直于所述探针卡的表面，以避免所述包装结构的安装影响了所述探针卡的探 针在所述探针卡上的焊接空间或者连接位置；所述探针卡的所述定位孔的至少1/3的长度 上有内螺纹，其余长度上为光孔结构，因为只有部分螺纹的通孔结构，能减少所述包装结构 的所述外螺纹与所述探针卡上的所述内螺纹的配合长度，方便射频识别卡的安装、调整和 更换，并减少了所述外螺纹与所述内螺纹的配合积压力对所述包装结构和所述探针卡上的 影响；还包括有外螺纹的堵头，与所述包装结构装入口结构相配合，以方便所述射频识别卡 的装入和更换。
[0019] 从上述技术方案可以看出，本发明一种探针卡装置，首先是在探针卡上有一个具 有内螺纹的定位孔，然后是射频识别卡内置于一个非导电性材质的包装结构中，该包装结 构有与探针卡上的内螺纹相配合的外螺纹，且在该包装结构的一端有适合扳手等作业工具 的外六角螺栓头结构或者内六角沉孔螺栓头结构，以方便内置有射频识别卡的包装结构的 固定、调整和更换；该探针卡上用螺纹固定内置有射频识别卡的包装结构，避免了晶圆电性 测试时射频识别卡与探针卡上方设备的干涉，方便了射频识别卡的安装、调整和更换，同时 也减少了因为外力而导致其脱落的问题，所以该装置降低了固定于探针卡上的射频识别卡 的故障率，提1?了 RFID的应用范围，为探针卡基本/[目息的读与提供了保障。
[0020] 以下将结合附图对本发明的构思、具体流程及产生的技术效果作进一步说明，以 充分地了解本发明的目的、特征和效果。
【专利附图】
【附图说明】
[0021] 图1是原技术中在探针卡上安装有射频识别卡的结构示意图；
[0022] 图